光学检测系统 SVS 10μ

视频拍照式自动化

描述
用于经 AVI 系统扫描的 IC 基板条的 AVI 验证站。SVS 10μ（CIMS AVI 验证站，采用 Sprint™ 驱动）专为 10 µm 的线/指几何形状验证而设计（针对 10–18 µm 优化）。
系统将反射/同轴光通道与三个漫射通道结合，可在金表面和阻焊层上最大化对比度。光学设计支持精确的缺陷标记与不良单元的剔除。稳健的机械结构与专用硬件确保高通量与运行稳定性。
SVS 10μ 配备符合人体工学的用户界面，易于操作并可将培训时间降至最低。可与 CDB™ 和 CDBIC™ 集成以管理缺陷与报废单元数据，并兼容所有 CIMS AVI 系统及第三方激光打标机。

亮点

• 灵活的视频照明配置以获得最佳对比度
• 自动化材料校准
• 用于稳定处理的固定真空台
• 符合人体工学的设计以提高操作效率
• 优化的缺陷间移动以减少周期时间
• 清晰的缺陷成像与可调视频照明

可选项

• 条码读取器
• 可调节的显示器位置
• CDB™/CDBIC™ – 缺陷分类与虚拟缺陷映射

技术规格

• 最小可检测线/指宽度：10 µm（针对 10–18 µm 优化）
• 应用：对经 AVI 系统扫描的 IC 基板条进行验证
• 照明：反射/同轴光通道加三个漫射通道
• 光学：设计用于允许缺陷标记和不良单元剔除
• 机械与硬件：稳健构造以实现高通量与高效率
• 界面与人体工学：用户友好，所需培训最少
• 兼容性：与 CDB™ 和 CDBIC™ 完全兼容
• 互操作性：兼容所有 CIMS AVI 系统及第三方激光打标机