数字检测系统 AIVR 4μ

视频拍照式IA

描述
AIVR 是一款由 CIMS 推出的 AI 驱动验证工位，将虚拟验证与物理验证集成于同一工作站。AIVR 4μ 针对 IC 基板的大批量制造设计，优化用于 4–15 µm 线/间距工艺的验证。AIVR 模式下，操作员审查由 AOI 获取并经 AI 图像增强算法处理的缺陷图像，能够快速筛除明显的误报。使用 AIVR 可显著提升验证效率和速度，并将结果无缝集成到数据库。可选触摸屏便于对缺陷进行分类，并向 QA 实时反馈。AIVR 4μ 与所有 CIMS AOI 兼容。

亮点

• 将 AOI 后处理图像验证与实时视频模式结合
• 与传统模式相比，验证效率提升可达 90%
• 显示由 AOI 直接采集并经 AI 增强的高分辨率彩色缺陷图像
• 可变变焦与自动校准
• 固定真空台
• 符合人体工程学的设计
• 缺陷图像清晰，视频照明可调

选项

• 缺陷标记用自动标记器
• 条码阅读器
• 可调节显示器支臂
• CDB™/CDBIC™ – 缺陷分类与虚拟缺陷映射
• SharpLight™ – 视频图像增强

技术规格

• 产品系列: AIVR
• 制造商 / 品牌: CIMS
• 目标应用: 用于 IC 基板的 AOI 验证工位
• 支持的线/间距验证: 优化用于 4–15 µm
• 验证模式: 虚拟（AOI 后处理图像）和实时视频
• 图像增强: 基于 AI 的算法，AI 增强的高分辨率彩色缺陷图像
• 效率提升: 相比传统模式最高可提升 90%
• 用户交互: 操作员审核流程，可选触摸屏用于缺陷分类和 QA 反馈
• 集成: 结果可与数据库集成
• 光学 / 机械: 可变变焦、自动校准、可调视频照明
• 工作站特性: 固定真空台，符合人体工程学的设计
• 可用可选模块: 自动标记器、条码阅读器、可调显示器支臂、CDB™/CDBIC™、SharpLight™
• 兼容性: 与所有 CIMS AOI 系统兼容