描述SVS 4μ 是一款针对 IC 基板的 AVI 验证站,用于验证由 AVI 系统扫描的基板条带。由 Sprint™ 提供技术支持,该站针对线/指宽度为 4 µm 至 8 µm 的工艺进行了优化。照明系统将反射/同轴通道与三个独立的漫射通道结合,以在金表面和焊膏遮罩上最大化对比度。光学设计支持缺陷标记或报废不良单元。坚固的机械结构和工业级硬件保证了高吞吐量和可靠运行。用户界面符合人体工程学,操作简便,培训需求低。SVS 4μ 与 CDB™ 和 CDBIC™ 完全兼容,并可与 CIMS AVI 系统及第三方激光打标机配合使用。
亮点- 灵活的视频照明配置
- 材料自动校准
- 用于稳定处理的固定真空台
- 符合人体工程学的操作设计
- 为吞吐量优化的缺陷间移动
- 可调视频照明下的清晰缺陷成像
可选项- 条码阅读器
- 可调节的显示器位置
- CDB™/CDBIC™ — 缺陷分类与虚拟缺陷映射
技术规格- 最小线/指宽:4 µm(针对 4–8 µm 优化)
- 照明:反射/同轴光通道与三个独立漫射通道
- 光学:支持缺陷标记或报废不良单元
- 机械与硬件:工业化设计以实现高吞吐量和可靠性
- 用户界面:符合人体工程学、易于使用,所需培训最少
- 兼容性:与 CIMS AVI 系统及第三方激光打标机兼容;与 CDB™ 和 CDBIC™ 数据管理系统完全兼容