光学检测系统 Phoenix PT/Micro

视频拍照式自动

产品描述
Phoenix PT/Micro（CIMS）为AOI系统，专为检测超细线光罩与胶片图案（film artworks 与玻璃光罩）而设计。可检测的最小线/间距达7 µm。由于光罩采用透射光检测，本系统使用为光罩检测优化的透射光光路，确保可靠地识别可能转移至面板的缺陷。通过高质量图像采集、可定制的检测算法和先进的处理固件相结合，实现优化的检测性能。Phoenix PT/Micro 由 Spark™ 驱动——一款跨平台检测引擎，能在较低误报率下提供优秀的检测能力。

产品亮点

• 透明或亚光玻璃工作台
• 兼容多种框架尺寸
• 适用于玻璃光罩和胶片图案
• 机械结构稳固
• 符合人体工程学的设计
• 高性能图像处理固件
• 强劲处理器以应对大量数据
• 新任务快速且直观的设置

可选项

• 多种玻璃光罩框架尺寸
• 通用框架适配器
• 集成高度跟踪器
• +2CD™ 测量功能 — 电路元件的二维测量
• CDB™/CDBIC™ — 缺陷分类与虚拟缺陷映射

技术参数

• 型号：Phoenix PT/Micro
• 用途：用于超细线光罩和胶片图案的AOI检测
• 最小可检测线/间距：可达7 µm
• 照明：为光罩检测优化的透射光光路
• 检测引擎：Spark™ 跨平台检测引擎
• 图像采集：高质量图像采集系统
• 软件：可定制的检测算法、先进的处理固件
• 机械：稳固结构、符合人体工程学的设计、兼容多种框架尺寸
• 可选测量与分类：+2CD™ 测量，CDB™/CDBIC™