光学检测系统 Capricorn 5Cχ

拍照式自动化表面

产品说明 Capricorn 5Cχ 是用于 IC 基板的 AVI 系统，最小线/间距检测能力可达 5 µm。配备彩色相机，光学像素尺寸为 1.6 µm，专为先进 IC 基板的最终检验而设计。双平台与双相机架构提供高产能检测，并在金属与焊膏/阻焊层上具有增强的缺陷识别能力。Capricorn 5Cχ 完全兼容工业 4.0 要求，可与数据库及虚拟验证流程集成。

亮点

• 在金属和阻焊上具有优越的检测能力
• 可检测阻焊下的缺陷
• 支持多分辨率检测
• 4 个全自动料盒
• 高性能图像处理固件
• 强大的处理器以应对大数据量
• 设置简便、操作直观

选项

• 集成自动条带清洁器
• 条码读取功能
• 抗静电离子发生器
• CDB™/CDBIC™ – 缺陷分类与虚拟缺陷映射
• X-WAVE™ ‒ 多波长照明
• VVS™ ‒ 虚拟验证系统
• SECS/GEM™ 连接

技术规格 / 参数

• 应用：针对 IC 基板的自动光学检测 (AVI)
• 最小可检测线/间距：5 µm
• 光学像素尺寸：1.6 µm
• 相机：彩色相机
• 机械配置：双平台与双相机
• 检测引擎：Spark™ 3.0（跨平台）
• 兼容性：VVS™/AVI 虚拟验证系统，SECS/GEM™ 协议
• 工业 4.0 功能：条码扫描/处理、内部/外部数据库连接
• 料盒：4 个全自动料盒
• 检测能力：在金属和阻焊上的增强检测，包括阻焊下的缺陷
• 性能：高性能图像处理固件和强大处理器以处理大量数据