光学检测系统 Phoenix PT+

拍照式自动化玻璃表面

描述
Phoenix PT+ 为 CIMS AOI 系统，专为检测高分辨率光学制版工具（如胶片艺术品和玻璃掩模）而设计。其扫描能力可达 12.5 µm 线/间宽度。由于掩模在使用时采用透射光，Phoenix PT+ 在检测时采用相同的光路，以可靠地检测可能被转移到由有缺陷掩模生产的面板上的缺陷。系统将高图像质量与可定制的检测算法相结合。配备先进的图像采集硬件和高级软件，Phoenix 产品系列可实现高检测性能并保持低误报率。Phoenix PT+ 由 Spark™（跨平台检测引擎）提供动力。

亮点

• 透明或哑光玻璃工作台
• 兼容多种框架
• 适用于玻璃掩模和胶片光罩
• 坚固的机械结构
• 高度符合人体工程学的设计
• 高性能图像处理固件
• 强大的处理器以处理大量数据
• 新任务快速且直观的设置

可选项

• 多种尺寸的玻璃掩模框架
• 通用框架适配器
• 集成高度追踪器
• +2CD™ 计量 – 电路元件的二维测量
• CDB™/CDBIC™ – 缺陷分类与虚拟缺陷映射

特性 / 技术规格

• 最小可检测线/间宽度：12.5 µm
• 检测目标：包括胶片艺术品和玻璃掩模在内的高分辨率光学制版工具
• 照明 / 光路：透射光检测（与掩模使用时相同的光路）
• 工作台：透明或哑光玻璃工作台
• 框架兼容性：兼容多种框架；可选多种玻璃掩模框架尺寸
• 机械：坚固的机械结构与高度符合人体工程学的设计
• 图像采集：先进的图像采集硬件
• 处理：高性能图像处理固件及强大处理器以处理大量数据
• 软件 / 检测引擎：由 Spark™ 跨平台检测引擎驱动，具备可定制的检测算法
• 设置：新任务快速且直观的设置
• 可选计量与分类：+2CD™ 2D 计量，CDB™/CDBIC™ 缺陷分类与虚拟缺陷映射
• 可选硬件：通用框架适配器、集成高度追踪器