描述用于IC基板的混合模式AOI验证工位,支持最小线/距至4 µm。VVR在单一工作站中整合了虚拟(AOI后处理图像)和实时视频验证,适用于IC基板的大批量制造。系列型号:VVR 4μ、VVR 5μ、VVR 7μ、VVR 10μ、VVR 15μ。
亮点- 集成AOI后处理图像验证与实时视频模式
- 与传统模式相比,验证效率提升可达70%
- 显示来自AOI的后处理彩色缺陷图像
- 可变变焦与自动校准,保证检测可重复性
- 固定真空台,确保基板稳固
- 符合人体工程学的工作站设计
- 清晰的缺陷图像与可调视频照明
选项- 用于缺陷标记的Auto-marker
- 用于可追溯性的条码读取器
- 可调节显示器支臂
- CDB™/CDBIC™ — 缺陷分类与虚拟缺陷映射
- SharpLight™ — 视频图像增强
- 可选触摸屏,支持操作员分类并向QA实时反馈
特性 / 技术规格- 产品类型:用于IC基板的混合模式AOI验证工位
- 支持最小线/距:至4 µm
- 系列型号:VVR 4μ、VVR 5μ、VVR 7μ、VVR 10μ、VVR 15μ
- 验证模式:虚拟验证(AOI后处理图像)与实时视频模式
- 图像处理:先进的图像增强算法;AOI后处理彩色缺陷图像
- 效率提升:相比传统验证模式可达70%
- 光学/功能:可变变焦、自动校准、可调视频灯、SharpLight™ 选项
- 机械结构:固定真空台、人体工学设计、可调显示器支臂(选配)
- 可追溯性/标记:Auto-marker 选项、条码读取器选项
- 软件/选项:CDB™/CDBIC™ 用于缺陷分类与虚拟缺陷映射
- 集成:兼容所有 CIMS AOI 系统