光学检测系统 Galaxy 7Cχ

视频拍照式自动化

概述
Galaxy 7Cχ 是面向 IC 基板的自动光学检测（AOI）系统，支持最小线宽/间距可达7 µm，适用于大批量生产。系统配备彩色相机与先进光学，可在生产扫描速度下获取高分辨率图像。

要点

• Prisma™ Gen II 光学技术：提供灵活的照明覆盖和高对比度
• Spark™ 3.0 跨平台检测引擎：支持可定制的缺陷检测算法
• 彩色图像采集，优化以在高速下实现高分辨率捕获
• 线性电机实现平稳且低噪音的运动
• 适合工厂集成的紧凑机械平台
• 第6代硬件，带增强照明模块
• 快速直观的作业设置，减少换线时间

可选项

• Fi™ – 成品板最终检测选项
• +2DM™ 计量 – 面板尺寸测量
• +2CD™ 计量 – 电路元件二维测量
• +3DH™ 计量 – 电路元件高度的三维测量
• +3DP™ 计量 – 电路元件的三维轮廓测量
• LDI™ – 激光钻孔检测选项
• CDB™/CDBIC™ – 缺陷分类与虚拟缺陷映射
• VVS™ – 虚拟验证系统
• X-WAVE™ – 多波长照明

技术规格

• 最小可检测线宽/间距：可达7 µm
• 光学技术：Prisma™ Gen II，提供灵活照明和最大对比度
• 图像采集：彩色相机，支持在高扫描速度下的高分辨率采集
• 检测引擎：Spark™ 3.0 跨平台检测引擎
• 机械运动：线性电机以实现平稳且低噪音的运动
• 平台：适用于工厂集成的紧凑机械平台
• 硬件代次：第6代硬件
• 照明：增强照明模块（可选 X-WAVE™ 多波长）
• 软件：可定制的检测算法以优化检测并最小化误报
• 自动化兼容性：支持前端 AMHS 自动化或机器人对接
• 可用计量与检测选项：Fi™, +2DM™, +2CD™, +3DH™, +3DP™, LDI™, CDB™/CDBIC™, VVS™