光学检查机 AIVR 5μ

视频用于半导体带图案晶圆

产品描述
AIVR 是一款由 CIMS 提供的 AI 驱动的验证工位，能在单一工作站内合并虚拟与物理验证。CIMS AIVR 5μ 专为大批量 IC 基板制造设计，优化用于 5–25 µm 线/间距技术的验证。AIVR 模式下，操作员审查由 AOI 获取并经 AI 图像增强算法处理的缺陷图像，从而快速筛除明显的误报。使用 AIVR 可提升验证效率与速度，并将结果与生产数据库无缝集成。可选触摸屏便于缺陷分类并向 QA 实时反馈。AIVR 5μ 与所有 CIMS AOI 兼容。

产品亮点

• 将 AOI 后处理图像的验证与实时视频模式相结合
• 与传统模式相比，验证效率提升可达 90%
• 显示来自 AOI 的 AI 增强高分辨率彩色缺陷图像
• 可变变焦与自动校准
• 固定真空台
• 符合人体工学的设计
• 清晰的缺陷影像与可调视频照明

可选项

• 用于标记缺陷的自动标记器
• 条码读取器
• 可调节的显示器支架
• CDB™/CDBIC™ – 缺陷分类与虚拟缺陷映射
• SharpLight™ – 强化视频图像

规格 / 技术参数

• 型号：AIVR 5μ
• 应用：用于 IC 基板的 AI 驱动 AOI 验证工位
• 支持的线/间距技术：5–25 µm
• 验证模式：单一工作站内的虚拟与物理验证；AOI 后处理图像与实时视频
• 功能：基于 AI 的图像增强、可变变焦、自动校准、固定真空台、人体工学设计、可调视频照明
• 兼容性：兼容所有 CIMS AOI
• 可选触摸屏用于缺陷分类及实时 QA 反馈
• 可选项：自动标记器、条码读取器、可调显示器支架、CDB™/CDBIC™、SharpLight™