描述Capricorn 4Cχ 是 CIMS 最新一代的 AVI 系统,配备彩色相机,专为下一代 IC 基板的最终检测而设计。可扫描至 4 µm 线/间距(光学像素尺寸 1 μm)工艺。Capricorn AVI 系统采用双工位与双相机配置,基于先进的硬件与软件,可提供高产能检测并在金属和阻焊层上显著提升缺陷检测能力。Capricorn AVI 系统完全符合工业4.0 要求,包括条码信息的扫描与处理、内外部数据库连接,以及与专为 AVI 检测设计的 CIMS 虚拟验证系统(VVS™/AVI)的完全兼容。Capricorn 4Cχ 由 Spark™ 3.0 驱动,这是一个创新的跨平台检测引擎。
重点- 在金属和阻焊层上具有优越的检测能力
- 可检测阻焊层下的缺陷
- 支持多分辨率检测
- 4 个全自动料盒
- 高性能图像处理固件
- 强大的处理器以处理大量数据
- 设置简便直观
可选项- 集成自动条带清洗装置
- 条码读取功能
- 防静电离子发生器装置
- CDB™/CDBIC™ ‒ 缺陷分类与虚拟缺陷映射
- X-WAVE™ ‒ 多波长照明
- VVS™ ‒ 虚拟验证系统
- SECS/GEM™ 连接
特性 / 技术规格- 应用:用于 IC 基板的自动视觉检测(AVI)
- 最小线/间距能力:4 µm
- 光学像素尺寸:1 μm
- 相机:彩色相机
- 机械配置:双工位与双相机
- 检测引擎:Spark™ 3.0(跨平台检测引擎)
- 检测优势:在金属和阻焊层上的增强检测能力;可检测阻焊层下的缺陷
- 产能特性:高性能图像处理固件;强大的处理器以处理大量数据;4 个全自动料盒
- 工业4.0 兼容性:条码扫描与处理、内部与外部数据库连接、支持外部数据协议、与 VVS™/AVI 集成以实现虚拟验证
- 可选模块:集成自动条带清洗、条码读取器、防静电离子发生器、CDB™/CDBIC™ 分类与虚拟映射、X-WAVE™ 多波长照明、VVS™、SECS/GEM™ 连接