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全自动小型芯片焊机
BM313A
半导体工业
高精度
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全自动
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半导体工业
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高精度
产品介绍
BM313A多功能装片机主用应用于半导体SiC有压银烧结工艺产品贴装、可拓展至光模块、传感器、金属管壳类的芯片贴装。 UPH Up to 1000 精度 ±10μm@3σ 晶圆尺寸 ≤12 inches 压力 30kg 精密控制 高精度XYZ控制、闭环可编程力控、温控、精度自动标定系统、多功能相机系统; 多功能组合 可选装预热模块、可配置静态芯片盒、可配置飞达上料、选配全自动晶圆更换系统; 智能显示系统 可视化Mapping、可视化力控曲线图、可视化贴装精度输出;
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