室式炉

晶体生长电动惰性气体中

在惰性气体环境中，采用石墨加热器将硅材料熔化，用直拉法生长无错位硅部件级单晶的设备，可兼容24英寸晶棒，兼容超导磁场。 副室直径 650mm 可拉制超大晶棒 26寸 大尺寸，高品质 高精度控制系统&完善的监控与反馈机制&可定制化磁场选配&可拉制26寸超大硅部件级晶棒 高精度控制 设备配备完整的磁场控制系统，全新的软控系统、视觉系统，超高精度传动系统，保证设备运行过程中精准控制，长期稳定运行。 大尺寸 兼容市场所有主流尺寸晶棒生产，最大晶棒尺寸可达26寸。 可定制化 可针对客户不同要求，制定热场结构、磁场配备等不同方案的定制化产品。