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硅抛光机 FTB150MP 晶圆工业
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产品规格型号
- 加工材料
- 硅
- 应用
- 晶圆
- 技术参数
- 工业
产品介绍
FTB150MP是根据实验室客户需求开发的实验用6英寸CMP设备。该设备适用于多种材料，配备性能优越的抛光单元，可实现晶圆表面的超高平整度，性价比高、是满足高精度制程的实验室解决方案。
晶圆尺寸
≤6 inches
晶圆材质
Si, SiC, GaN等
精致小巧全功能
专注小尺寸领域的核心研发与应用
体积小
单头单盘高度集成化结构
工艺搭配灵活
高刚性结构可施加更高的压力，同时可搭配金刚石、尼龙毛刷等各种修整器。
高性价比
高性价比的实验室解决方案
