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喷淋式清洗机 LAC200自动晶圆工艺流程
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产品规格型号
- 技术
- 喷淋式
- 运行模式
- 自动
- 应用
- 工艺流程, 晶圆
- 其他特性
- 高压
产品介绍
LAC200是一款经济型8寸晶圆清洗设备，采用水气二流体系统产生高压喷雾，喷雾冲击产品表面和切割道，用于晶圆切割后的高效清洗。
小而美
经济型清洗机，占地小，能耗低，清洗效果出众。
高能效
占地空间小
能效高
静音性好
高适用性
满足3~8英寸晶圆
最大可以对应250*250方盘
操作便捷
快速设定多种清洗模式
操作简单
