BM314A 软焊芯片贴片机主要应用于功率半导体器件的芯片贴片,特别适用于功率器件和光伏组件,例如TO系列、DPAK系列、PDFN系列、DFT组件等。
每小时产量
最高 9K
精度
±35μm@3σ
晶圆尺寸
≤12英寸
氧含量
≤30mm
大功率器件封装的优化解决方案
卓越的锡写入和锡喷效果,采用尖端的轨温控制系统,能够实现高速、高精度的芯片粘接,并可处理高密度引线框架
超薄晶圆处理
创新开发了具备全行程恒力控制功能的高精度键合头,可精确控制拾取力和键合力
核心指标控制
氧含量 ≤20ppm,轨迹加热温差 ≤±1℃,芯片定位精度 ±35μm,倾斜度 <30μm
模块化设计
可互换的锡写入和锡喷射模块,自动晶圆装卸,多种装载模式
可视化系统
进料检验(IQC)数据监控系统、生产报告生成系统、粘接力控制曲线模拟系统
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