室式炉

晶体生长自动

碳化硅长晶炉是一种在特定环境下，使碳化硅原料经过气相传输、化学反应等过程，在籽晶上生长出高品质的碳化硅单晶的设备。 尺寸 6inch/8inch 长晶凸度 1-3mm 高精度智能化控制系统，定制化服务 多温区高精度控制 搭载智能控制系统，可实现远程集控 高产出率、高稳定性、高空间利用率 可提供定制化服务 专业模拟软件 采用STR专业模拟软件进行SiC晶体生长全周期模拟，为客户提供全套生长方案。 智能控制 搭载智能控制系统，可实现远程集控。 可定制化 可根据需求，定制不同加热方式（电阻式、电感式）。 客户服务 为客户提供热场设计与改良服务，合作攻克工艺难点。