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Suzhou Lieqi Intelligent Equipment Co., Ltd.
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多芯片小型芯片焊机
LQ-VADB30P
自动化
半导体工业
精密装配
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产品规格型号
所用技术
多芯片
运行模式
自动化
应用
半导体工业, 精密装配
其他特性
高精度, 可配置, 带光学对准系统
定位精度
最少:
1.5 µm
最多:
3 µm
产品介绍
LQ-VADB30P 是在前代基础上优化的高精度多芯片粘接机,兼顾置放精度、工艺灵活性和产能,适用于大批量且高精度的芯片装配场景。
主要特性
最多支持5个取放工具,实现多芯片处理。
自动对焦光学校准系统,提高视觉对准精度。
360°角度校准,确保旋转方向的准确置放。
支持浸涂与点胶工艺同时使用,最多配置5个浸涂工具。
工艺切换灵活,可支持点胶与浸涂的不同生产需求。
支持多种供料格式,包括2” GEL-PAK和6”晶圆环。
性能模式
高精度模式:置放位置精度 ±1.5 µm(标准芯片置放),产能可达600 UPH。
非精度模式:置放位置精度约 ±3 µm(视产品而定),产能可达1,200 UPH。
应用领域
光子学
功率器件
微波射频器件
新能源汽车领域
技术规格
压合压力:30 g – 250 g(可编程力控制)。
支持芯片尺寸:250 µm × 250 µm 至 2.0 mm × 2.0 mm。
支持芯片厚度:0.1 mm – 1.0 mm。
置放精度:高精度模式 ±1.5 µm @ 3σ;旋转置放精度 ±0.1° @ 3σ。
多芯片取放:最多5种不同取放工具,固定动作与灵活切换。
胶体处理:支持最多5种不同浸涂针/工具及点胶工艺。
供料格式:2” GEL-PAK 与 6” 晶圆环。
产能:高精度模式最高600 UPH;非精度模式最高1,200 UPH(视产品而定)。
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