概述HS-DB3000是一款为大批量工业化生产设计的高速多功能贴装系统。支持模块化定制、智能校准与数据管理,实现工艺可追溯性并简化操作流程。系统配备12英寸晶圆装载模块、自动晶圆换片装置和自动喷嘴更换装置,以满足多芯片贴装需求。
主要特性- 高精度定位与贴装能力。
- 自由滚动/宽度可调的输送系统,便于与其他设备无缝连接。
- 模块化设计,支持灵活配置与产线扩展。
- 12英寸晶圆装载系统,含自动换片器与自动喷嘴更换器,支持多芯片贴装。
- 胶体控制采用压力-时间控制方式(可根据特殊需求定制)。
- 高度测量采用接触式传感器;可选非接触式测高。
适用领域技术规格- 贴装工艺:环氧胶贴装(浸涂、划线);支持正装与背装。
- 贴装精度:±3 µm(标准);可选 ±7 µm,θ ±0.1°,视应用而定。
- 设备效率:每次贴装3 s–7 s(依具体应用而定)。
- 输送机调节范围:0–200 mm;支持在线/串联生产。
- 供料:多形式供料;兼容多尺寸蓝膜供料;程序控制灵活切换。
- 贴装性能:最多支持12个喷嘴,实现快速切换与高性能贴装。
- 多任务集成:可配置最多5种点胶浸针以满足多样化工艺需求。
- 晶圆处理:12英寸晶圆装载系统;含自动换片器。
- 喷嘴管理:自动喷嘴更换器。