STEINMEYER定位系统

重复精度: 1 µm
载荷: 15 kg
运行行程: 200 mm - 1,000 mm

... FMC系列，ACS，PLC集成 定制的选项： - 过程适应性，样品架，头/传感器 - 适用于洁净室ISO 14644-1的版本（根据要求可达到1级）。 - 机架、振动隔离、外壳、安全概念 - 扩展XYZ-Rx-Ry-Rz运动的自由度 - 通过三维设计为定位任务寻找个性化解决方案 ...

重复精度: 0.3 µm - 2.5 µm
载荷: 5 kg - 20 kg
运行行程: 100 mm - 720 mm

... 用于半导体的XYZ双检测门户 可定制的 - 是自动检测晶圆/半导体的理想选择 - 非常大的移动范围，每个都是2 x 720 x 720 x 100 mm - 允许同时整合两个过程 该检测系统由四个洁净室轴组成，可同时对多个物体进行自动测量。实现了高动态性和最高的可重复性。每侧有一个高分辨率的相机或传感器相对于样品移动，以检查几何形状，进行测量并记录特殊的质量特征。 规格 - 行程：2 x 720 x 720 x 100 mm - ...

重复精度: 0.005 µm - 4.4 µm
载荷: 5 kg - 25 kg
运行行程: 100 mm - 365 mm

... 8轴定位系统/测角仪 可定制的 - 从不同的角度进行自动的8轴检查 - 同轴旋转系统，使摄像机/传感器/照明围绕一个共同的中心点旋转 - 是检测显示器的理想选择 这个8轴定位系统能够分析和检查不同的样品几何形状和其他部件。两个摄像头/传感器都可以在样品上倾斜并调整高度。此外，样品载体可以平行于测量面倾斜，以补偿各个样品之间的差异。XY ...

重复精度: 0.5 µm - 2 µm
运行行程: 100 mm - 600 mm
传送速度: 25 mm/s - 200 mm/s

... ：直线电机（无铁）、空气轴承 (XY) | 滚珠丝杠、直流电机、交叉滚子 (Z) - 反馈：直线光栅尺 - 运动控制器FMC-250/280, FMC-400/450, ACS, PLC 集成 定制选项： - 可堆叠系统设计 - 可调整行程、长度组合（最长 1 米）、布线和控制系统 - 花岗岩或铝制底板 - 适用于生物技术、医疗技术、制药、半导体的特殊配置 - 为合成样品、生物样品或活体样品量身定制 - ...

重复精度: 0.2 µm - 2.5 µm
载荷: 25 kg
运行行程: 200 mm - 700 mm

... 用于 3D 自动化的 XYZ 龙门系统 可定制 - 700 x 700 x 200 mm 的大行程是自动化高通量应用的理想选择 - 高达 1000 mm/s 的速度可实现高动态、快速的样品处理 - 高精度定位，重复精度可达 0.3 微米 - 出色的稳定性，可实现高重复性和高分辨率 这套三轴定位系统可灵活适应各种应用的生产和检测过程。Z ...

重复精度: 0.3 µm - 0.4 µm
载荷: 15 kg
运行行程: 200 mm - 1,000 mm

... 毫米以下大型部件的高精度检测 - 由于具有极高的刚性，分辨率可达纳米级 - 可根据客户要求的显微镜、相机或传感器进行个性化调整 - 出色的高产能，速度高达 2420 毫米/秒 - 在参数可变的情况下，通过空气轴承实现低维护和灵活的全天候运行 该 XYZ 定位系统适用于 450 x 1000 x 1000 毫米以上的大型高样品的高精度测量。可在 Z 轴上安装定制的显微镜、照相机或传感器，通过 XYZ ...

重复精度: 0.4 µm - 0.5 µm
运行行程: 100 mm - 700 mm
传送速度: 470 mm/s - 2,000 mm/s

... XYZ 多轴龙门系统 可定制 - 集成在线质量控制、高速拾放任务和组合应用的理想之选 - 十字头上有三个可自由配置的轴，适用于所有高架应用 - 行程为 500 x 700 x 100 毫米，可扩展至 1000 毫米，因此产量高 - 出色的高重复精度，可达 0.4 µm - 龙门轴和十字头之间无耦合，便于通过电机编码器进行控制，避免了过确定性 这种适用于高架应用的多功能龙门可在 PLT 系列标准平台的基础上自由配置轴数、尺寸和驱动装置。三个或更多客户定制的加工头、照相机、传感器等可与增强型横移装置相匹配 ...

重复精度: 0.7 µm - 1 µm
载荷: max 15.0 kg
运行行程: 200 mm - 1,300 mm

... 1300 x 200 毫米的超大行程范围 - 高精度定位，重复精度高达 0.8 微米，质量可靠稳定 - 集成式直线电机保证了高加速度和高速度，同时具有高精度 该龙门可在 1300 x 800 mm 的区域内实现高动态运动。Z 轴上的定制加工头或传感器在花岗岩上的载体上快速、连续地移动。异形导轨直接安装在花岗岩上，可提供最佳的运行特性，从而获得重复性极高的亚微米级结果。龙门式设计可轻松集成到循环生产线中，并可对多个此类入口进行排线。 规格 - ...

重复精度: 0.2 µm - 2 µm
载荷: 15 kg
运行行程: 10 mm - 600 mm

... 毫米孔径的双面 Z 传感器定位器 - 减震设计，具有出色的加工值，重复性可达 1µm - 减少因空气承载样品架而产生的废气排放 - 出色的使用寿命和全天候免维护运行 该 XYZ 龙门定位系统可实现高精度的双边检测过程，每个检测过程可配备 2 个定制传感器/显微镜，用于不同的计量应用。第一个 Z 轴位于固定横梁上，第二个传感器/显微镜安装在光圈下方的 Z 轴上。气浮样品架将样品沿 ...

重复精度: 2.5 µm - 6.5 µm
运行行程: 50 µm - 275 µm
传送速度: 30 mm/s - 50 mm/s

... 静止时的极高稳定性可达 5 纳米或更高 - 采用无磨损空气轴承，使用寿命长 这种非常坚固的 XYZ 龙门架是专为高精度原子力显微镜（AFM）检查特别大的玻璃样品而设计的。U 形样品平台上方是一个 Z 向可移动悬臂，用于定制原子力显微镜。 规格 - 标准系统：PLT165-DLM (XY) / PMT160-DC (Z1, Z2) - 行程600 x 600 x 100 x 100 毫米 - 重复精度： 0.2 - ±2 µm - ...