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... XYZ定位系统持有传感器头，并将激光束扫描到样品上。 XYZ定位系统用于定位干涉仪的探测光束，并将其扫描到感兴趣的区域。定位系统是围绕着三个SmarAct闭环定位器建立的，它们被封闭在一个紧凑的保护壳中。每个定位器的最大扫描范围为20毫米，重复精度为50纳米。传感器头安装在最低的定位器上。XYZ定位系统安装在一个直径为25毫米的柱子上，因此其高度很容易调整，以适应不同尺寸的样品。甚至可以将定位系统从其安装柱上拆下来，以便将其安装在一个定制的设置中，或与另一个仪器结合。 ...
重复精度: 0.5 µm
载荷: 0 g - 5,000 g
运行行程: 10 mm
... MAUKA 是一种结构紧凑的六脚架，设计用于以亚微米级分辨率定位重达 5 公斤的有效载荷。 MAUKA 六脚架的 X 和 Y 移动范围为 10 毫米，Z 移动范围为 20 毫米，三个旋转角度为 16°。其直径为 107 毫米，中间位置高度为 198 毫米。 为了尽量减小直径，我们采用了六滑轮几何结构，其中电机安装在一条直线上。 MAUKA 六角脚架可以在任何方向上运行：垂直、水平或任何其他角度。它是不可逆的，即使在断电后也是如此。 由于采用了绝对线性编码器，因此每次重新打开控制器时都无需执行归位指令，而是立即知道六脚架的位置，无需进行任何六脚架运动。 ...
SYMETRIE
重复精度: 1 µm
载荷: 15 kg
运行行程: 200 mm - 1,000 mm
... 用于高动态应用的XYZ龙门架 可定制的 - 高精度和动态应用的理想选择 - 1300 x 800 mm的超大行程范围 - 高加速度和速度与高精度相结合 这种龙门架可以在1300 x 800毫米的范围内实现高动态运动。Z轴上的定制加工头或传感器在花岗岩上的载体上快速、平稳地移动。异型导轨直接安装在花岗岩上，提供最佳的运行特性，以实现巨大的可重复的亚微米结果。 规格 - 行程：800 x 1300 x 200 mm - 重复性：1 - 0.7 µm - 速度：500 - 1000 mm (XY) ...
... 底板和定位系统 Witte FixBase: 精度和稳定性的夹层 Witte的FixBase方案的精确和刚性结构板可作为测量夹具或结构的基础，作为花岗岩CMM测量面的替代品，以及运输板和具有五个可用网格面的立方体。他们的夹层设计提供了最高的刚性和相对较低的重量。 FixBase元件是基于威特的模块化理念，来自于世界范围内建立的威特模块化系统ALUFIX，用于框架或柱型夹具。 FixBase可以与关节臂测量系统、触觉坐标测量机、激光、扫描或摄影测量系统结合使用，甚至可以用于顺序或旋转台。 添加气垫船或滚轮驱动系统，可形成手动操作的移动解决方案。带有轨道或摩擦轮驱动和转发器控制的FixBase结构板提供了一个半自动或全自动的装载解决方案。气垫船转盘上的垂直结构板和/或电动转台上的水平板提供了进一步的移动自由--例如在机器人测量单元中。作为全自动装载系统中的无人驾驶运输系统（FTS）的应用--无论是轨道引导、应答器引导还是自主导航，都已经实现。 ...
... - 超动态运动 - 无与伦比的定位精度 - 系统刚性高 - 最低的颗粒排放 高速直线电机系统是专为半导体制造设备中的进给轴而开发的，可实现卓越的生产率和工艺可靠性。 除了移动质量、行程范围、周期定义等客户的常规要求外，还需要考虑其他特性。这些特性包括 - 极其紧凑的设计 - 无与伦比的同步质量（齿槽） - 无需维护 - 快速调试 - 绝对位置反馈 - 适用于定制电缆的电缆管理 高速直线电机系统专为高定位精度的应用而开发。它可以选择使用定制的滑块和底板钻孔模式，以满足个性化需求。此外，该系统还设计有无尘室兼容版本，可在敏感环境中使用。为方便初始调试，还提供了一套参数集，以实现快速高效的调试。 - ...
KML Linear Motion Technology GmbH
... LDS-1000 激光多普勒秤 (LDS) 为单轴或多轴应用提供高速、高精度和远距离定位，如直线电机、大型龙门机、数控机床、CMM、精密级、超微米表和其他线性测量设备。 LDS 结构紧凑，易于安装，易于对齐，Abbe 偏置较少，没有交叉耦合，并且经济实用。 ...
OPTODYNE
重复精度: 0.1, 0.5 µm
运行行程: 2 mm
传送速度: 0 mm/s
... 高分辨率、工业级和成本优化的产品 这个定位系统用于自动化共焦显微镜和照相机的应用，可以实现超过1亿次的聚焦，并产生出色的图像。特别是对于共焦光学器件，需要最小的定位步长低于一微米，并且与理想的直线运动的偏差最小。一个新的驱动概念包括一个中心作用的偏心驱动，用于100纳米的定位步长，在坚固性、性能、可靠性、集成度和成本效率方面满足所有行业的要求。 不受外部振动的影响，获得出色的高分辨率图像 - 是自动共聚焦显微镜、分析和扫描应用的理想选择 - 使用共焦传感器进行高分辨率测量，最高可达0.1微米，以及非常小的堆叠距离的焦点堆叠 - ...
Steinmeyer Mechatronik GmbH
... 系列 - FBPS 600i 功能 - 可靠的位置感测 SIL - 3, EN 61508 SILCL - 3, IEC/EN 62061 性能等级 (PL) - e, ISO / EN ISO 13849-1:2015 PFHD - < 9.5E-09 每小时 使用寿命 - 20 年, ISO / EN ISO 13849-1:2015 等级 - 4, ISO / EN ISO 13849-1:2015 MTTF - 64 年 错误反应时间 - 10 ms（可配置） 区域深度 ...
Leuze electronic GmbH + Co. KG
... 毫米级 GPS 将 GPS 和激光技术相结合，可将精度提高 300 毫米级 GPS 结合 GPS 和激光技术，将精确度提高达 300 全球定位系统在确定机器在作业现场的水平或表面位置方面相对准确。激光技术非常适合计算机器刀片、熨平板或滚筒的垂直位置。 毫米级 GPS (mmGPS) 结合了全球导航卫星系统（GNSS）和激光技术的优势，与仅使用 GPS 的系统相比，精度最高可提高 300%，同时允许多台机器和漫游车使用同一个激光网络在同一工作区域内运行。 毫米级 GPS 还能提高生产率，因为在铺路项目中无需使用串线，在土方工程中也无需使用集线器来划分工作区域。这意味着您可以更快地完成工作和平整土地。 毫米级 ...
... BE-901型条码定位系统是光学测量系统，使用可见的红色激光来确定BE-901相对于永久安装的条码带的位置。通常情况下，BE-901安装在一个（轨道）引导的车辆上，其位置需要确定。利用固定条码带的信息，将位置信息确定在一毫米之内，并提供给主系统。 接口。Profibus, SSI 易于安装和激活 可读取直线和曲线轨道 非接触式位置测量 位置检测可达10,000米 可参数化 ...
... 8 站半导体晶圆指数仪 本系统专门设计用于在高温下对 2 ″ 或 3 ″ 半导体晶圆进行离子束处理。 它由一个带有高精度直流电源和分位系统的台式炉组成。分位系统可精确控制晶圆位置，并允许每次运行 8 个晶圆的批量处理。 晶圆旋转到加热器上，在离子束处理开始前几秒钟内进行加热。 温度由读取加热晶圆表面温度的光学高温计控制。 大接入端口允许连接离子束仪器。 炉子是一个完整的转钥匙系统，配备真空系统、惰性气体系统、分度伺服控制、温度控制和水冷系统。 ...
重复精度: 0.15 mm
载荷: 540 g
传送速度: 0 m/s - 10 m/s
... 功能 - 加热器 可靠的位置感测 SIL - 3, EN 61508 SILCL - 3, IEC/EN 62061 性能等级 (PL) - e, ISO / EN ISO 13849-1:2015 PFHD - < 9.5E-09 每小时 使用寿命 - 20 年, ISO / EN ISO 13849-1:2015 等级 - 4, ISO / EN ISO 13849-1:2015 MTTF - 64 年 错误反应时间 - 10 ms（可配置） 区域深度 ...
... RoboStation 2D 工业定位系统是一种基于激光技术的新型、经济的工业定位系统。基本系统由一个固定式 RoboStation 和至少一个或多个移动式 RoboStation IPS 接收器组成。任何一台 IPS-Receivers 都可以同时在半径 50 米或更大的范围内独立使用。 RoboStation 2D 工业定位系统的工作原理与传统的旋转激光器类似。RoboStation 发出平面激光。您将获得该平面内的极坐标或笛卡尔坐标。移动式 IPS 接收器的高度范围为 15 厘米。在此范围内，即使地面不平，接收器也能获得位置信息。位置传感器可靠、坚固，绝对防尘防水（IP ...