XYZ轴定位系统

激光紧凑型

XYZ定位系统持有传感器头，并将激光束扫描到样品上。 XYZ定位系统用于定位干涉仪的探测光束，并将其扫描到感兴趣的区域。定位系统是围绕着三个SmarAct闭环定位器建立的，它们被封闭在一个紧凑的保护壳中。每个定位器的最大扫描范围为20毫米，重复精度为50纳米。传感器头安装在最低的定位器上。XYZ定位系统安装在一个直径为25毫米的柱子上，因此其高度很容易调整，以适应不同尺寸的样品。甚至可以将定位系统从其安装柱上拆下来，以便将其安装在一个定制的设置中，或与另一个仪器结合。