交叉滚子位移台

运行行程: 250, 170 mm
速度: 0.7, 0.6 m/s
重复精度: 0.1, 0.05, 0.15 µm

... 最小增量线性运动达 1 nm 高精度位置编码器选项：增量式和绝对式测量 结构紧凑：横截面 80 毫米 × 25 毫米 交叉滚柱导轨实现高负载能力和高几何性能 可选择铁芯和无铁芯三相直线电机 带直线电机和超扁平设计的紧凑型直线运动平台 V-508 系列高精度直线电机平台采用超小型封装，具有高速度和高精度。这些闭环电动纳米定位平台非常适合高动态 24/7 工业自动化应用，其设计理念以可靠性为中心 - 高性能轴承、零摩擦线性电机、非接触式光学位置传感器和经过 FEA（有限元分析）优化的机身，以确保刚度和热稳定性。 无摩擦直接驱动直线电机 ...

运行行程: 150, 70 mm
速度: 50 mm/s

... GTS 系列既考虑到了交叉滚子轴承平移台的平直度直线度和平整度平面度，又兼顾了高端平移台较高的精度和可重复性。 超静音抗蠕变交叉滚子轴承具有出色的平直度和平整度，可防止出现轴承罩移位 集成编码器具有卓越的 100 nm MIM，确保运动具有高度的可重复性和精度 低摩擦滚珠丝杠驱动，可最大限度减少粘滑效应 长期强度和稳定性 即插即用 - ESP 兼容 精密编码器反馈 使用具有 50 nm 超高分辨率的光学标度，可降低传动系统误差。读头的固定设计减少了其内部电缆移动的麻烦。 防蠕动式交叉滚子轴承 为了确保最精确的轨迹控制，GTS ...

运行行程: 25 mm - 50 mm
载荷: 20 kg

... MX80M系列集成驱动机构的微型交叉滚柱轴承导向的手动线性定位器，行程高达6英寸，有效载荷可达17磅，表面光滑平整，摩擦性较低，直线度/平坦度优异 MX80M平台可作为自由行程装置或行程为25mm或50mm的千分尺驱动装置。它们包括刀具功能，可更快、更轻松地进行安装和高精度对准。平台侧面是硬化的钢制主基准面，可使夹具或其他刀具元件与实际行进路径高精度对准。滑架顶部设有定位销孔，可重复安装或使用刀具。此外还提供定制功能，例如钢制主体设计、真空预备装置以及防脱套蠕变轴承，可用于行程高达150 mm的高动态应用。市场： ...

运行行程: 25.4 mm
载荷: 10, 4 lb

... 100.5cr系列代表了当今市场上最薄的交叉滚子平台。其纤薄的设计非常适合空间或高度至关重要的应用。所有三种尺寸均可提供X、XY或XYZ轴版本。每个轴都有一个不影响的箔锁，几乎可以保证第一次调整就是最后一次。箔锁在相对边缘上有匹配的安装孔，以实现最大的访问灵活性。根据设置的灵敏度，可以使用8-80TPI或8-100TPI调整螺钉，或SM-1微米计与这些平台一起使用。角度支架包含在组件中，也可以单独购买。

产品特点

• 低调设计
• 不影响锁定
• 高负载交叉滚子轴承
• 提供真空兼容版本

• 行程范围：1.0英寸（25.4毫米）
• 最大水平轴负载：10磅
• 最大垂直轴负载：4磅
• 分辨率：
• 使用80TPI调整螺钉5µm
• 使用100TPI调整螺钉亚微米

运行行程: 0 µm - 12,000 µm
速度: 0 mm/s - 1,400 mm/s

... Zaber 的 X-DMQ-AE 系列装置是计算机控制的直接驱动音圈驱动线性平台，具有高加速度和高精度能力，体积小巧。它们是独立单元，只需要标准的 24 V 或 48 V 电源。 创新的动圈推杆设计具有非常平坦的力-位置曲线，适用于需要在整个行程中平稳输出力的应用。此外，该技术还能以最小的移动质量实现快速加速，并且没有外露的移动电缆，从而实现高负载周期。力输出允许轻型滑架在 12 毫米行程内达到高达 1400 毫米/秒的速度。 内置模拟线性编码器的细分分辨率为 1 nm，可对位置和速度进行闭环伺服控制。如果应用需要直接控制平台的力输出，而不是基于位置或速度的控制，可切换到力控制模式。 与 ...

运行行程: 45, 10, 20 mm

... -步进电机或带编码器的直流电机、交叉滚柱轴承导轨、细牙主轴 特点 -磨削过的细螺纹主轴，间隙小 -预装精密交叉滚子轴承导轨 -霍尔效应或机械限位开关 -带编码器的 2 相步进电机或直流电机 -设计紧凑 -XYZ 安装 -抗变形铝 -防反射黑色阳极氧化处理 -带 OWISid 电机电缆的技术数据以及为您的定位器和控制器组合选择合适电缆的指南，请参见电缆表。 电动测量平台 MTM 60 主要用于对精度和机械尺寸要求极高的场合。也可以将 XY 或 XYZ 安装与极小的空间限制相结合。 通过使用特殊的交叉滚子轴承和间距为 ...

运行行程: 1 mm - 40 mm
速度: 1 mm/s - 200 mm/s
重复精度: 0.3 µm - 5 µm

... LA92 高速 UHV 线性轴 应用：高分辨率和快速扫描应用 优点在 UHV 中快速定位，也可垂直定位 特点高分辨率、超薄、内置电机 - 真空：所有区域 HV / UHV，最高 10E-11 mbar - 磁性：磁性 | 低磁性 | 无磁性 - 润滑：液态最高 10E-8 / 干态最高 10E-11 mbar - 最高烘烤温度： 120°C120°C 可选项： - 根据应用选择材料和真空润滑 - 可与 XYZ 传送系统（如 LA90、LA95、LA170）结合使用 - 根据炉室安装情况进行个性化调整 - ...

... - 适用于价格敏感型应用的XY平台 - 精确的步进电机 - 交叉的滚子导轨 - 限位和参考开关（霍尔效应） 用于价格敏感的OEM市场的XY平台 M-971被集成到检测、光刻或生物医学工程的系统中，并为光学显微镜进行了优化。它是专门为满足价格敏感的OEM市场的要求而开发的。经过验证和成本优化的组件构成其基础。 导轨的设计包括几个短的交叉滚子导轨，将负载均匀地分布在一个大的表面上，确保高刚度和良好的移动精度。 传动系统是基于一个广泛使用的PI线性平台。它的可靠性和长寿命已经在多年的使用中得到了验证。 通过使用步进电机，可以省去编码器，可以使用简单的步进电机控制器。XY平台配备了限位和参考开关，以确保快速和精确的参考和操作中的安全。 ...

运行行程: 100, 200 mm
速度: 500 m/s
重复精度: 0.3 µm

... E-LMT-XY (高精度直线电机平台) XY 线性电机运动平台 简要说明 移动范围 100 mm × 100 mm 或 200 mm × 200 mm 单向重复精度达 0.3 µm 无铁三相直线电机 速度增量至 500 mm/s 分辨率为 4.88 nm 的直线光栅尺 交叉滚柱导轨 直线电机 直线电机是一种电磁直接驱动装置。它们省去了传动系统中的机械部件，直接将驱动力无摩擦地传递到运动平台。这种驱动装置可以达到很高的速度和加速度。无铁电机特别适用于对精度要求极高的定位任务，因为它不会与永久磁铁产生不良影响。因此，即使在最低速度时也能平稳运行，同时在高速时也不会产生振动。避免了控制行为的非线性，任何位置都能轻松控制。 利用增量式线性编码器进行高精度位置测量 非接触式光学编码器可直接在平台上测量位置，精度极高。非线性、机械间隙或弹性变形对测量没有影响。可根据要求提供更多行程范围。 ...

... 我们的交叉滚子导轨是可自由互换的标准元件。我们的导轨允许装配非常刚性和精确的线性导轨，没有任何间隙。 效益 -可承受高负荷 -运转非常平稳 -所需空间小 -使用寿命长 -安装说明。 安装导轨时，要确保轴承表面已加工成平行状态，并与角度一致。轴承和安装面的公差应符合导轨的工艺公差（标准质量）。所施加的预应力取决于各自的安装条件，分别取决于组装好的滑块结构的刚性。我们建议使用相当于最大容许载荷的5-20%的预应力。然而，在任何情况下，整个导轨结构的承载能力都会因预应力的应用而降低。 ...

运行行程: 6.5 mm

运行行程: 50 mm - 600 mm

运行行程: 100, 50 mm
速度: 5 mm/s
重复精度: 0.5 µm - 4 µm

... - 真空：所有范围HV / UHV / EUV，最高10E-11 mbar - 润滑液体可达10E-8 / 干的可达10E-11 mbar - 最大。烘烤温度。120°C - 洁净室等级为4级ISO 14644-1（根据要求可达到1级）。 - 非常长的使用寿命，即使是干运行 可选择配置。 - 可提供压电式断路 - 材料选择和真空润滑适合于应用 - 可根据炉膛内的安装情况进行个别调整 - 适用于洁净室ISO 14644-1的版本（可按要求达到1级）。 - 可选择带控制器FMC400/450 在纳米范围内的稳定性，甚至是高达10公斤的高负荷 线性平台是为在极端条件下定位高刚性负载而设计的，如在高真空和超高真空下。配备压电式卡钳制动器，该定位系统实现了纳米范围内的稳定性。 应用的领域 超高真空和极端紫外线辐射下的半导体技术，晶圆对准，晶圆检测，相机对准，传感器对准，触点检测，镜面对准，探测，真空室，研究，光束线仪器，电子组装和检测，高精度扫描应用 ...