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载荷: 2 kg
Nanomotion的Z-楔形平台采用交叉滚子轴承，在斜面上驱动中央楔通过顶部和底部耦合在一起的板。该水平的驱动演变成了在平台顶端的纯粹的垂直运动。使用Z-楔形平台结构使整个表面均可利用到。垂直运动的直接直线位置编码消除了楔形角度所带来的误差。
运行行程: 1 mm - 40 mm
速度: 1 mm/s - 200 mm/s
重复精度: 0.3 µm - 5 µm
... LA92 高速 UHV 线性轴 应用：高分辨率和快速扫描应用 优点在 UHV 中快速定位，也可垂直定位 特点高分辨率、超薄、内置电机 - 真空：所有区域 HV / UHV，最高 10E-11 mbar - 磁性：磁性 | 低磁性 | 无磁性 - 润滑：液态最高 10E-8 / 干态最高 10E-11 mbar - 最高烘烤温度： 120°C120°C 可选项： - 根据应用选择材料和真空润滑 - 可与 XYZ 传送系统（如 LA90、LA95、LA170）结合使用 - ...
Steinmeyer Holding GmbH
运行行程: 1 mm - 130 mm
速度: 1 mm/s - 10 mm/s
重复精度: 0.4 µm - 5 µm
... LA170 精密高负载 XYZ 线性轴 应用：运输平台、高负载扫描平台 优点： 使用干润滑油，使用寿命长 特点：带干润滑油的导螺杆或带液体润滑油的滚珠螺杆 - 真空：所有 HV / UHV / EUV 范围，最高 10E-11 mbar - 磁性：磁性 - 润滑：液体润滑，最高 10E-8 / 干式润滑，最高 10E-11 毫巴 - 最高烘烤温度120°C 可选项 - 根据应用选择材料和真空润滑 - 根据室内安装情况进行个性化调整 - 适用于 ISO ...
Steinmeyer Holding GmbH
运行行程: 1 mm - 100 mm
速度: 1 mm/s - 10 mm/s
重复精度: 0.4 µm - 5 µm
... LT300 高负载精密线性平台 应用：运输平台、高负载扫描平台 优点：干式润滑，使用寿命长 特点：带干润滑油的导螺杆或带液体压电制动器的滚珠螺杆，具有 nm 级稳定性 - 真空：所有范围的 HV / UHV / EUV，最高可达 10E-11 mbar - 磁性：磁性 - 润滑：液体润滑，最高 10E-8 / 干式润滑，最高 10E-11 毫巴 - 最高烘烤温度120°C 可选项 - 可提供压电断路 - 根据应用选择材料和真空润滑 - 根据腔体内的安装情况进行个性化调整 - ...
Steinmeyer Holding GmbH
运行行程: 6.5, 12.5 mm
... GCM-TP系列产品是大恒光学的高精度DeepL。该平台采用全铝机身和交叉滚柱钢制轴承，运动精密，负载能力强。平台的厚度为20mm，行程为13mm和25mm。平台尺寸为45X45mm和65X65mm。 ...
Daheng New Epoch Technology,Inc(CDHC)
运行行程: 6.5 mm
... 大恒光学生产的GCM-T系列翻译平台，由铝合金制成。这些平台使用交叉滚子轴承来支持精密运动和高负载能力。DeepL 平移分为单轴和双轴类型。单轴的厚度为20mm，双轴的厚度为33mm。相应平台的尺寸为45x45mm和65x65mm，行程分别为±6.5mm和±12.5mm。客户可以根据使用需求改变千分尺的安装位置，每次DeepL 平移都会预留安装孔位。 ...
Daheng New Epoch Technology,Inc(CDHC)
运行行程: 13, 25 mm
... GCM-V系列产品是大恒光学推出的新型精密侧向驱动立式云台。它们是由铝合金制成的。导轨类型为交叉滚柱轴承，提高了平台的精度和负载能力。行程为13mm和25mm。 ...
Daheng New Epoch Technology,Inc(CDHC)
重复精度: 100 nm
... CGO-60.5测角台可以很容易地叠加在CGO-77.5测角台的上面，形成一个欧拉式的摇篮，其共同的旋转中心在工作平台上方60.5毫米。 所有压电测角台都是基于SmarAct压电驱动技术。测角台有不同的半径可供选择。除了结构紧凑外，这些平台的刚性很好，因此非常适合微观或纳米定位任务。由于使用了高精度的交叉滚子轴承，其角度精度非常高。测角台提供最高的运动分辨率，并且可以直接堆叠。通过结合两个具有适当半径的平台，可以建立一个具有共同旋转中心的紧凑型欧拉测角仪。它们的机械接口完全适合CLS-52系列平台。因此，允许通过直接组合线性、旋转和测角仪平台来创建多轴系统。SmarAct的动态关节镜平台可以由我们的任何控制单元操作，也可以提供集成的定位传感器。此外，CGO系列动态关节镜平台可用于不同的环境条件，如高真空和超高真空环境。 由于CGO-60.5配备了可更换的驱动单元，保证了可以很容易地接触到平台的核心部件进行维修。 机械性能 行程[-±5 阻断力矩[Ncm] ...
... 精确而紧凑的测角台CGO-77.5可以直接安装在CLS-52线性平台的顶部，或者与CGO-60.5平台结合使用时作为欧拉台的底座。 所有压电测角台都是基于SmarAct的压电驱动技术。测角台有不同的半径可供选择。除了它们的紧凑性，这些平台的刚性很好，因此非常适合微观或纳米定位任务。由于使用了高精度的交叉滚子轴承，其角度精度非常高。测角台提供最高的运动分辨率，并且可以直接堆叠。通过结合两个具有适当半径的平台，可以建立一个具有共同旋转中心的紧凑型欧拉测角仪。它们的机械接口与CLS-52系列平台完美配合。因此，允许通过直接组合线性、旋转和测角台来创建多轴系统。SmarAct动态关节镜平台可以由我们的任何控制单元操作，也可以提供集成的定位传感器。此外，CGO系列测角台可用于不同的环境条件，如高真空和超高真空环境。 由于CGO-77.5配备了可更换的驱动单元，保证了可以很容易地接触到平台的核心部件进行维修。 机械性能 行程[-±5 阻断力矩[Ncm] ...
运行行程: 0.5 mm
... 侧面驱动定位阶段 系列: 101SD, R101SD 模型。101SD-XYZ 价格: $ 721.00 增加公制测微头/标准英寸螺纹孔 $0.00 增加Posi-Lock马车锁 $163.00 ...
DELTRON
运行行程: 0.5 in
... 侧面驱动定位阶段 系列: 101SD, R101SD 模型。R101SD-XYZ 价格: $ 927.00 增加公制测微头/标准英寸螺纹孔 $0.00 增加Posi-Lock马车锁 $163.00 ...
DELTRON
运行行程: 0.5 in
... 交叉辊定位台 家族。R100 模型。R101-X 价格: $ 279.00 增加公制测微头/标准英寸螺纹孔 $0.00 增加Posi-Lock马车锁 $55.00 ...
DELTRON
运行行程: 0 µm - 12,000 µm
速度: 0 mm/s - 1,400 mm/s
... Zaber 的 X-DMQ-AE 系列装置是计算机控制的直接驱动音圈驱动线性平台，具有高加速度和高精度能力，体积小巧。它们是独立单元，只需要标准的 24 V 或 48 V 电源。 创新的动圈推杆设计具有非常平坦的力-位置曲线，适用于需要在整个行程中平稳输出力的应用。此外，该技术还能以最小的移动质量实现快速加速，并且没有外露的移动电缆，从而实现高负载周期。力输出允许轻型滑架在 12 毫米行程内达到高达 1400 毫米/秒的速度。 内置模拟线性编码器的细分分辨率为 ...
运行行程: 50 mm - 305 mm
... Zaber 的 ASR 系列显微镜台是直立式和倒置显微镜上手动台以及独立扫描台操作的绝佳替代品。 它们具有非常薄的外形和紧凑的设计，可以简单轻松地集成到各种扫描系统中，并且可以改造标准显微镜平台。 交叉滚子轴承和硬化不锈钢导轨控制舞台运动，实现平稳运行，并增加使用寿命和刚性。 12 µm 的精度由精密 2 mm 间距引脚螺丝确保，可实现 2 µm 的重复性和最高速度可达 85 mm/s。 ASR 系列采用专有的内部加工技术，可实现出色的垂直跳动、正交性和直率，可选择 ...
运行行程: 13 mm
NFP 系列产品是卓立汉光开发的超高精密手动直线滑台。该系列产品主体材料采用304 不锈钢，采用进口超高精密交叉滚柱导轨导向，精密分厘卡驱动，配合卓立汉光的精密磨削技术，使该系列产品具有不大于1μm 的超高灵敏度，并且运行平顺，无跳动现象。该系列产品特别适合于超高精度的手动调整领域，尤其是光纤耦合或光波导器件、DPSS 激光器部件的精密调整，也可在真空中使用（需换装真空脂）。
运行行程: 100, 50 mm
速度: 5 mm/s
重复精度: 0.5 µm - 4 µm
... - 真空：所有范围HV / UHV / EUV，最高10E-11 mbar - 润滑液体可达10E-8 / 干的可达10E-11 mbar - 最大。烘烤温度。120°C - 洁净室等级为4级ISO 14644-1（根据要求可达到1级）。 - 非常长的使用寿命，即使是干运行 可选择配置。 - 可提供压电式断路 - 材料选择和真空润滑适合于应用 - 可根据炉膛内的安装情况进行个别调整 - 适用于洁净室ISO 14644-1的版本（可按要求达到1级）。 - 可选择带控制器FMC400/450 在纳米范围内的稳定性，甚至是高达10公斤的高负荷 线性平台是为在极端条件下定位高刚性负载而设计的，如在高真空和超高真空下。配备压电式卡钳制动器，该定位系统实现了纳米范围内的稳定性。 应用的领域 超高真空和极端紫外线辐射下的半导体技术，晶圆对准，晶圆检测，相机对准，传感器对准，触点检测，镜面对准，探测，真空室，研究，光束线仪器，电子组装和检测，高精度扫描应用 ...
Steinmeyer Mechatronik GmbH
运行行程: 60, 130 mm
速度: 5 mm/s
重复精度: 0.5 µm - 4 µm
... - 真空：所有范围HV / UHV / EUV，最高10E-11 mbar - 润滑液最高可达10E-8 / 干式最高可达10E-11 mbar - 最大。烘烤温度。120°C - 可作为磁性版本 可选择配置。 - 材料选择和真空润滑适合于应用 - 可根据炉膛内的安装情况进行单独配置 - 适用于洁净室ISO 14644-1的版本（根据要求可达到1级）。 - 可选择带控制器FMC400/450 它被用作多轴系统以及同时扫描多个样品的强大组件。它可以在超高真空下实现高负荷的高度精确定位，甚至在垂直方向。 应用范围 多轴系统的设置，过程自动化，三维扫描，样品扫描，成像系统的定位，显微镜，样品分析，半导体检测，生物技术和半导体技术的质量保证，研究，光束线，加速器，同步辐射 ...
Steinmeyer Mechatronik GmbH
运行行程: 2 mm - 40 mm
速度: 5 mm/s - 100 mm/s
重复精度: 0.3 µm - 0.4 µm
... 高速线性轴 HV / UHV / EUV，40毫米行程，0.4微米重复性，最高2公斤负载 真空：所有领域的HV / UHV，最高可达10E-11 mbar 润滑液高达10E-8 / 干的高达10E-11 mbar 最大。烘烤温度。120°C 可选择配置。 - 可提供磁性、低磁性和无磁性版本 - 材料选择和真空润滑适合于应用 - 可与快速XYZ传输系统相结合（例如：LA90、LA95、LA170）。 - 可根据试验室中的安装情况进行单独调整 - ...
Steinmeyer Mechatronik GmbH
运行行程: 80, 170, 250 mm
速度: 0.6, 0.7 m/s
重复精度: 0.1, 0.05, 0.15 µm
... - 最小增量线性运动至1纳米 - 可选择铁芯和无铁芯三相直线电机 V-508系列高精度直线电机平台在一个非常紧凑、低矮的封装中提供了高速度和高精度。这些闭环电动纳米定位平台非常适用于高动态24/7的工业自动化应用，其设计理念是考虑到可靠性--高性能轴承、零摩擦直线电机、非接触式光学位置传感器，以及FEA（有限元分析）优化的机体硬度和热稳定性。 无摩擦直接驱动直线电机--分辨率非常高 由内部开发的无摩擦、无刷3相直线电机驱动，并由直接测量的直线编码器控制，V-508系列直线DeepL，可以提供高分辨率的直线运动，最小增量可达 ...
Physik Instrumente/德国PI
运行行程: 160, 35, 110, 60 mm
速度: 145, 200 mm/s
重复精度: 75 nm
... ANT130LZS平台具有超低的外形尺寸，代表了垂直运动性能的最高水平。 ANT130LZS平台采用双侧装气动平衡，摩擦系数极低，集精度、可重复性、速度和可靠性于一身。ANT130LZS平台具有出色的动态性能和强大的承载能力，当您需要在紧凑的结构中实现卓越的垂直运动时，ANT130LZS平台是您的理想选择。 -增强型第二代设计 -实现最小增量运动至1 nm - 新产品 -在最长160 mm的行程内实现纳米级定位性能 -提供超低剖面，双侧安装的平衡器能够抵消高达14公斤的有效载荷，实现垂直方向的超精密性能 -采用高精度交叉滚柱轴承，具有优异的动态性能和足够的承载能力 -采用无铁直接驱动直线电机，最大限度地提高了工艺产量和可靠性 -可轻松集成到多轴运动系统中 ANT130LZS平台是高精度和高动态垂直定位应用的理想选择，具有最小的占地面积要求，包括 -光学装配与检测 -光纤对准和优化 -光学制造、测试和检验 -传感器测试和鉴定 -半导体加工和检测 -研究与实验室应用 ...
Aerotech/美国Aerotech
运行行程: 45, 10, 20 mm
... -行程范围10/20/45毫米 -带编码器的步进或直流电机，交叉滚子轴承导轨，细螺纹主轴 -霍尔效应或机械限位开关 特点 -行程范围10毫米、20毫米和45毫米 -磨细螺纹主轴，反冲力小 -预先加载的精密交叉滚子轴承导轨 -霍尔效应或机械限位开关 -2相步进电机或带编码器的直流电机 -紧凑的设计 -XYZ安装 -抗变形铝 -不易反光，黑色阳极氧化处理 -带有OWISid 电机电缆的技术数据以及为您的定位器和控制器组合选择合适的电缆的指导可以在这里找到。 电动测量平台MTM ...
OWIS GmbH
运行行程: 150, 70 mm
速度: 50 mm/s
GTS 系列即考虑到了交叉滚子轴承平移台的平直度直线度和平整度平面度，又兼顾了高端平移台较高的精度和可重复性。 •超静音抗蠕变交叉滚子轴承具有出色的平直度和平整度，可防止出现轴承罩移位 •集成编码器具有卓越的 100 nm MIM，确保运动具有高度的可重复性和精度 •低摩擦滚珠丝杠驱动，可最大限度减少粘滑效应 •长期强度和稳定性 •即插即用 - ESP 兼容 精密编码器反馈 使用具有 50 nm 超高分辨率的光学标度，可降低传动系统误差。读头的固定设计减少了其内部电缆移动的麻烦。 防蠕动式交叉滚子轴承 为了确保最精确的轨迹控制，GTS ...
MICRO-CONTROLE / Spectra-Physics
... - 适用于价格敏感型应用的XY平台 - 精确的步进电机 - 交叉的滚子导轨 - 限位和参考开关（霍尔效应） 用于价格敏感的OEM市场的XY平台 M-971被集成到检测、光刻或生物医学工程的系统中，并为光学显微镜进行了优化。它是专门为满足价格敏感的OEM市场的要求而开发的。经过验证和成本优化的组件构成其基础。 导轨的设计包括几个短的交叉滚子导轨，将负载均匀地分布在一个大的表面上，确保高刚度和良好的移动精度。 传动系统是基于一个广泛使用的PI线性平台。它的可靠性和长寿命已经在多年的使用中得到了验证。 通过使用步进电机，可以省去编码器，可以使用简单的步进电机控制器。XY平台配备了限位和参考开关，以确保快速和精确的参考和操作中的安全。 ...
... 我们的交叉滚子导轨是可自由互换的标准元件。我们的导轨允许装配非常刚性和精确的线性导轨，没有任何间隙。 效益 -可承受高负荷 -运转非常平稳 -所需空间小 -使用寿命长 -安装说明。 安装导轨时，要确保轴承表面已加工成平行状态，并与角度一致。轴承和安装面的公差应符合导轨的工艺公差（标准质量）。所施加的预应力取决于各自的安装条件，分别取决于组装好的滑块结构的刚性。我们建议使用相当于最大容许载荷的5-20%的预应力。然而，在任何情况下，整个导轨结构的承载能力都会因预应力的应用而降低。 ...
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