交叉滚子纳米定位平台

... 50.5cr系列交叉滚子导轨是市场上最薄的系列，专为空间或高度至关重要的应用而设计。其纤薄的外形使其非常适合紧凑的设置，并且可提供X、XY或XYZ轴版本，具有三种尺寸。每个轴都配有不影响的箔锁，确保初始调整保持稳定，对面边缘有匹配的安装孔，便于灵活访问。根据所需的灵敏度，导轨可以配备8-80TPI或8-100TPI调节螺钉，或SM-1微米计。角支架包含在组件中，也可以单独购买。

产品特点

• 低外形设计
• 不影响的锁定
• 高负载交叉滚子轴承
• 提供真空兼容版本

• 行程范围：0.5英寸（12毫米）
• 最大水平轴负载：5磅
• 最大垂直轴负载：2磅
• 分辨率：
  • 80TPI调节螺钉：5微米
  • 100TPI调节螺钉：亚微米

• 调整轴：X、X-Y、X-Y-Z
• 手：右，左
• UOM：公制，英制

运行行程: 100, 200, 300 mm
速度: 5 mm/s
重复精度: 0.015 µm - 0.02 µm

... LA97 - 真空线性平台和轴 纳米级线性平台 高达10E-11的HV/UHV，100 - 300 mm行程，0.02 µm重复性，最高10 kg负载 - 真空：所有区域HV/UHV，最高10E-11 mbar - 润滑：液体可达10E-8 mbar/干的可达10E-11 mbar - 最大。烘烤温度。120°C 可选择配置。 - 可提供磁性、低磁性和无磁性版本 - 材料选择和真空润滑适合于应用 - 可根据炉膛内的安装情况进行单独配置 - 适用于洁净室ISO 14644-1的版本（根据要求可达到1级）。 - ...

运行行程: 10 mm
速度: 5 mm/s

... - 真空：所有范围的HV / UHV / EUV，最高可达10-11毫巴 - 润滑液体可达10-8/干燥可达10-11mbar - 最大。烘烤温度。120°C - 孔径：80 x 80 mm 可选择配置。 - 带或不带测量系统 - 可选择带导螺杆驱动或润滑的滚珠螺杆驱动以获得更高的速度 - 可与旋转台（如DT155）结合，用于旋转应用 - 适应应用的材料选择和真空润滑 - 根据试验室的安装情况进行单独调整 - 设计用于洁净室ISO 14644-1（根据要求达到1级）。 - 可选择带控制器FMC400/450 在纳米范围内具有最高的稳定性，即使在干燥的操作中也是如此 带透射光孔的定位系统由两个LT300直线平台组合而成，形成一个精确的重型XY平台，适用于高真空、超高真空和极端紫外线辐射下的应用。该系统的运行完全不需要润滑剂。它的交叉滚子导轨和导螺杆的概念使其在纳米范围内具有极高的稳定性。另外，该系统还可以设计成带润滑的滚珠丝杠驱动，以获得更高的速度。 应用的领域 重物的精密定位，超高真空和极端紫外线辐射下的研究，样品制备，样品扫描，样品处理，生物芯片，相机对准，材料研究，材料分析，光束线，加速器，同步加速器 ...

运行行程: 10 mm
速度: 5 mm/s

... 带有交叉滚子轴承和压电马达的微型平台，用于纳米范围内的步骤。 高分辨率的微型平台 Steinmeyer Mechatronik产品系列中最小的平台具有极高的分辨率。由于其小型化的设计，它是空间要求有限且要求高标准的应用的理想选择。 压电式电机带来的最佳步长 MT53配备了交叉滚子轴承和一个压电马达，允许在纳米范围内的步长。在真空和非磁性版本中，这个微型平台完全适合在苛刻的环境中使用。 微加工和微组装的理想选择 MT53可以用于要求严格的微机械加工和微装配应用。它也可以理想地部署在研究和开发应用或半导体工业中。 ...