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运行行程: 50 mm - 3,500 mm
速度: 4,000 mm/s
重复精度: 0.05 mm
... 客户是一家光谱检测设备公司。 该模块主要用于快速筛选分析材料。它可以在 80 厘米的同步带上快速移动进行筛选。 为了提高筛选工作的效率，负载必须达到 35kg，速度必须控制在 2000mm/s。 根据客户的要求，我们的技术团队设计了以下结构。 皮带驱动推杆多轴定位平台直线运动龙门机器人 ...
FUYU Technology
运行行程: 50 mm - 1,500 mm
... 技术特点 福宇公司开发的双轨直线模组，机身宽度为17cm，运行稳定性强，载荷可达120kg。主要用于高负荷、高精度的企业。重复定位精度可以达到±0.02mm。它是目前国际市场上最受欢迎的高负荷产品。 应用范围 激光切割机、光伏背板切割雕刻机、运输机械臂、辅助设备、电研测试功能演示、各类工业自动化生产线、各类精密机械加工。 半导体设备、LED在线设备、太阳能设备、FPD设备的工业自动化。 模块宽度：170mm 重复位置精度：0.02mm 引线：5/10/20/25mm 水平负载能力：120/110/80/60公斤 垂直负载能力：50/40/25/20公斤 ...
FUYU Technology
运行行程: 100 mm - 1,050 mm
速度: 250, 500, 1,000 mm/s
... 半封闭式定制龙门模块定位系统 高精度、轻质、高刚性的半封闭螺杆式线性模块 应用范围 客户是一家电子产品检测设备制造商，其产品主要用于配备工业相机的电子产品检测。 客户要求所有的电器配件如驱动器、控制器、电源等都要固定在底座的底部，尺寸不能太高。本项目中的FTH12重复定位精度为±0.02mm，最大速度为1000mm/s，最大水平载荷为50KG，最大垂直载荷为15KG。精密铝制底座，重量轻，刚度高。具有精度高、定位准、噪音低、耐腐蚀等优点，适用于大多数对精度、运行速度和运行环境有一定要求的检测设备和仪器行业。 ...
FUYU Technology
运行行程: 1 mm - 40 mm
速度: 1 mm/s - 200 mm/s
重复精度: 0.3 µm - 5 µm
... LA92 高速 UHV 线性轴 应用：高分辨率和快速扫描应用 优点在 UHV 中快速定位，也可垂直定位 特点高分辨率、超薄、内置电机 - 真空：所有区域 HV / UHV，最高 10E-11 mbar - 磁性：磁性 | 低磁性 | 无磁性 - 润滑：液态最高 10E-8 / 干态最高 10E-11 mbar - 最高烘烤温度： 120°C120°C 可选项： - 根据应用选择材料和真空润滑 - 可与 XYZ 传送系统（如 LA90、LA95、LA170）结合使用 - ...
Steinmeyer Holding GmbH
运行行程: 1 mm - 130 mm
速度: 1 mm/s - 10 mm/s
重复精度: 0.4 µm - 5 µm
... LA170 精密高负载 XYZ 线性轴 应用：运输平台、高负载扫描平台 优点： 使用干润滑油，使用寿命长 特点：带干润滑油的导螺杆或带液体润滑油的滚珠螺杆 - 真空：所有 HV / UHV / EUV 范围，最高 10E-11 mbar - 磁性：磁性 - 润滑：液体润滑，最高 10E-8 / 干式润滑，最高 10E-11 毫巴 - 最高烘烤温度120°C 可选项 - 根据应用选择材料和真空润滑 - 根据室内安装情况进行个性化调整 - 适用于 ISO ...
Steinmeyer Holding GmbH
运行行程: 1 mm - 100 mm
速度: 1 mm/s - 10 mm/s
重复精度: 0.4 µm - 5 µm
... LT300 高负载精密线性平台 应用：运输平台、高负载扫描平台 优点：干式润滑，使用寿命长 特点：带干润滑油的导螺杆或带液体压电制动器的滚珠螺杆，具有 nm 级稳定性 - 真空：所有范围的 HV / UHV / EUV，最高可达 10E-11 mbar - 磁性：磁性 - 润滑：液体润滑，最高 10E-8 / 干式润滑，最高 10E-11 毫巴 - 最高烘烤温度120°C 可选项 - 可提供压电断路 - 根据应用选择材料和真空润滑 - 根据腔体内的安装情况进行个性化调整 - ...
Steinmeyer Holding GmbH
运行行程: 21 mm
速度: 20 mm/s
重复精度: 200, 40 nm
... CLS-32线性平台中最小的一款，占地面积只有32 x 32 mm，行程范围为21 mm。它能够处理高达30N的有效载荷。 CLS系列的直线运动平台一直是为科学和工业领域的高可用性应用而设计。它们配备了SmarActs可更换的驱动单元，保证了容易接触到平台的核心部件，即压电驱动。这使得维修成为一项非常简单的任务。驱动单元可以在不从周围的定位装置上拆下整个设备的情况下进行更换。此外，他们的安装孔型与安装我们的旋转平台和测角器完美匹配。 机械 阻塞力[N] - ...
SmarAct GmbH
运行行程: 31 mm
速度: 20 mm/s
重复精度: 40, 200 nm
... CLS-32系列的中等尺寸级提供31毫米的行程范围，同时保持32 x 52毫米的尺寸。它能够处理高达30N的有效载荷。 CLS系列的线性平台一直是为科学和工业领域的高可用性应用而设计的。它们配备了SmarActs可更换的驱动单元，这保证了容易接触到平台的核心部件，压电驱动。这使得维修成为一项非常简单的任务。驱动单元可以在不从周围的定位装置上拆下整个设备的情况下进行更换。此外，他们的安装孔型与安装我们的旋转平台和测角器完美匹配。 机械 阻塞力 [N] ≥ 3.5 最大。法向力 ...
SmarAct GmbH
运行行程: 51 mm
速度: 20 mm/s
重复精度: 40, 200 nm
... CLS-32系列中最长的一级提供了51毫米的行程范围，同时保持了仅32 x 82毫米的占地面积。它能够处理高达30N的有效载荷。 CLS系列的线性平台一直是为科学和工业领域的高可用性应用而设计的。它们配备了SmarActs可更换的驱动单元，这保证了容易接触到平台的核心部件，压电驱动。这使得维修成为一项非常简单的任务。驱动单元可以在不从周围的定位装置上拆下整个设备的情况下进行更换。此外，他们的安装孔型与安装我们的旋转平台和测角器完美匹配。 机械 阻塞力 [N] ...
SmarAct GmbH
运行行程: 28 mm - 5,694 mm
速度: 9 m/s
重复精度: 5 µm
... MLS5 线性电动平台：自动化机电执行器 MLS5 是全开放式基础型号。它是目前最经济的选择，具有很好的滑块功率与自重比，从而获得更好的加速度。此外，它还带有一个电缆出口，增加了应用的多样性。 该直线电机平台的信息 该直线电机平台的能力： 测量系统重复精度： ± 0.5 μm 最大加速度197 m/s2 无接头时的最大长度6000 毫米 ...
SINADRIVES
运行行程: 8 mm - 3,272 mm
速度: 9 m/s
重复精度: 10 µm
... MLE2 线性电动平台：自动化机电执行器 紧凑型线性模块，设计有单个高精度线性导轨，是龙门系统和多轴门户应用的理想之选。这种先进的型号已通过 ISO3 认证，完全适用于无尘室环境，可在苛刻的洁净度和颗粒控制条件下确保最高的质量和性能。 该无尘室直线电机平台的信息 该直线电机平台的能力： 测量系统重复性：± 1 μm 最大加速度： 95 m/s2 无接头时的最大长度4020 毫米 ...
SINADRIVES
运行行程: 8 mm - 3,272 mm
速度: 9 m/s
重复精度: 5 µm
... MLE3 线性电动平台：自动化机电执行器 配备直线电机的轴采用双导轨设计，具有稳定性和精确性。它采用了坚固的轮廓，针对需要 "自保持结构 "的应用进行了优化，使其具有出色的稳固性和精确性。这种坚固可靠的结构非常适合对稳定性和位置保持性要求极高的高精度操作和工业应用。 该直线电机平台的信息 该直线电机平台的能力： 测量系统重复性：± 1 μm 最大加速度110 m/s2 无接头时的最大长度3600 毫米 ...
SINADRIVES
... X-LRQ-E 系列器件是 Zaber 最近发布的工业型级设备，以紧凑的尺寸结合了高负载和推力功能。 双轨设计具有扁平尺寸，仅 36 mm 高，承载能力为 100 kg。 这些级能够达到840mm/s的速度，以及高达 300 N 的推力。 内置的电机编码器允许闭环操作和滑动/失速恢复功能，并带有可选的索引旋钮，用于手动控制。 与所有 Zaber 的 X 系列产品一样，X-LRQ-E 能够与其他 Zaber 产品进行菊花链连接，并且能够与多个 X 系列产品共享一个电源。 ...
运行行程: 16 mm
速度: 1.1 mm/s
... - 真空：所有范围HV / UHV / EUV，最高10E-11 mbar - 润滑液最高可达10E-8 / 干式最高可达10E-11 mbar - 最大。烘烤温度。120°C - 可作为磁性版本 - 根据ISO 14644-1，洁净室等级为4级 可选择配置。 - 材料选择和真空润滑适合于应用 - 可根据室内的安装情况进行单独配置 - 适用于洁净室ISO 14644-1的版本（根据要求可达到1级）。 - 可选择带控制器FMC400/450 用于高负荷的精确升降台 该升降台适用于极端条件下的高精度垂直运动，如高真空、超高真空。由于它的升降楔形原理，尽管它的总高度很低，但还是达到了它的参数。齿轮马达和精确的滚珠丝杠的组合，可选导螺杆，在相对较高的负载下实现最小的步长。 应用范围 超高真空和极紫外辐射下的工业和研究领域的精密定位，晶圆对准，相机对准，材料研究，材料分析，真空显微镜，光束线，加速器，同步加速器 ...
Steinmeyer Mechatronik GmbH
运行行程: 25 mm
速度: 8.3 mm/s
... 适用于工业的升降台，设计用于高负荷。配有一个交流电机。 高负荷的理想选择 对于垂直方向的运动，Steinmeyer Mechatronik HT240是一款专门为高负荷而设计的产品，具有出色的分辨率。由于其坚固的、经过生产验证的设计，它可以防止颗粒和灰尘，可以在工业环境中使用，特别是重载应用。 易于组合 HT240配备了步进电机或交流电机，可提供高达25毫米的提升。 由于我们的模块化轴系统，它可以毫不费力地与相匹配的DT系列旋转平台或PLT系列直线平台相结合，形成复杂的多轴系统。 适用于工业应用 HT240主要用于需要精确定位高负荷的地方--在特殊和精密机器制造、激光技术、自动化工业和测量工程中。 ...
Steinmeyer Mechatronik GmbH
运行行程: 16 mm
速度: 8.3 mm/s
... - 真空：所有范围的HV / UHV / EUV，最高可达10-11毫巴 - 润滑液体可达10-8/干燥可达10-11mbar - 最大。烘烤温度。120°C - 洁净室等级为4级ISO 14644-1（根据要求可达到1级）。 - 可作为磁性版本 可选择配置。 - 带或不带孔径 - 不同的行程 - 可选择带或不带测量系统 - 适用于洁净室ISO 14644-1的版本（根据要求可达到1级）。 - 适应应用的材料选择和真空润滑 - 根据试验室的安装情况进行个别调整 - ...
Steinmeyer Mechatronik GmbH
运行行程: 302 mm
速度: 40 mm/s
重复精度: 0.7 µm
H112载物台非常适合扫描各种半导体晶圆、光掩膜、平板显示器以及印刷电路板。H112可轻松容纳12英寸（300毫米）晶圆，并可与各种晶圆装载机械臂配合使用。另外，H112可用于250 mm x 250 mm透射区域的透射光应用。 • 适用于大多数主流品牌显微镜。 • 1μm甚至更高的重复精度 • 可选的100nm线性标尺可提供最高的分辨率。 • 多种晶圆支架 • 302毫米x 302毫米（12″x12″）行程
运行行程: 215 mm - 256 mm
速度: 40 mm/s
重复精度: 2 µm
H116载物台适用于大多数大型显微镜，并且可以轻松容纳8英寸（200毫米）的晶圆和各种大型标本，非常适合扫描各种半导体晶圆、光掩膜、平板显示器以及印刷电路板。 • 适用于大多数主流品牌显微镜。 • 1μm甚至更高的重复精度 • 安静、可靠 • 多种晶圆支架。 • 255mm x 215mm（10“x8.5”）行程
运行行程: 304, 102, 610, 407, 204 mm
速度: 300, 100 mm/s
重复精度: 5 µm
... - 步进或伺服电机 - 由于带有折叠式传动系统的型号，设计紧凑 - 带有垂直安装的抱闸的型号 强大的线性平台用于要求严格的工业应用中 精密的滚珠丝杠，高性能的步进或同步伺服电机，重载循环滚珠轴承和精密旋转编码器使其在高负荷下持续可靠地运行。可选的抱闸允许作为Z轴使用。滚珠丝杠可以从外部重新润滑，无需拆卸，以确保高可靠性和长寿命。 领先的设计 L-812系列的循环滚珠轴承导轨是为高负载能力和动态设计的。电机的高分辨率使得跟踪性能得到改善，跟踪误差更小，沉降时间也得到改善。 选项 - ...
Physik Instrumente/德国PI
运行行程: 50 mm - 600 mm
速度: 2 m/s
重复精度: 0.4, 0.5 µm
... PRO115LM是本公司产品系列中体积最小的直线电机密封机械轴承平台。在其他PRO-LM系列平台的基本精密设计基础上，PRO115LM是空间有限的中型和高性能应用的理想选择。 -坚固的机械结构 -直驱直线电机，实现超精密运动 -九种型号，行程从50毫米到600毫米 -提供真空和洁净室型号 -可提供ThermoComp®，在不断变化的环境中实现高性能 坚固的机械结构 长寿命循环直线导轨轴承系统和低摩擦密封解决方案使PRO115LM成为激光加工等工业应用的理想解决方案。PRO115LM设计的基本外部结构可防止碎屑进入，同时侧边密封可防止灰尘和微粒进入平台。弧形硬盖设计提供了一个自然的形状，防止过多的碎屑聚集在平台上。 精确的运动性能 PRO115LM系列平台采用高精度非接触式线性编码器，通过平台密封系统防止杂物进入。这些编码器提供最小5 ...
Aerotech/美国Aerotech
运行行程: 25, 110, 85, 65, 40 mm
... -行程范围25/40/65/85/110毫米 -带夹具的细螺纹主轴 -适用于工业应用 特点 -行程25毫米、40毫米、65毫米、85毫米或110毫米 -为工业应用而设计 -精细螺纹主轴，反冲力小 -带有研磨和不锈钢循环球轴承导轨的滑架 -固定装置可固定调整后的位置 -抗变形的铝材 -反射性差，黑色阳极氧化处理 -可进行XY、XZ或XYZ组装 精密直线台LT 45是LT系列中最薄的。它们是工业应用和研发的适当选择。 面对它们的低宽度，特殊的导轨提供了一个高的负载能力，以及在低可用空间内几乎没有滑动的运动。 可以敏感地调整夹持元件的断裂力，直至完全固定住细螺纹主轴，而不会使主轴发生位移。 ...
OWIS GmbH
RV 系列坚固的旋转台结合了高精度定位和极高的载重能力，可在各种条件（包括工业应用）下工作。 •非常适用于高负载应用（最高负载为 6500 N，最大扭矩为 80 Nm） •全钢结构可以实现高刚度和热稳定性 •超过 50 个不同版本，每个版本都具有不同的性能特点、直径和真空兼容性 •双列滚珠轴承 •带有自补偿预载的磨削蜗轮传动装置 •最大孔径范围为 78 至 280 mm 钢结构 工具的钢结构具有研磨轴承表面，可确保提高旋转精度。单片设计提高了刚度和热稳定性，同时不损害动态性能。 最高载重能力 双排预装重滚珠轴承尺寸小，但具有较高偏心载重。RV ...
运行行程: 400, 800 mm
速度: 500 mm/s
... 用于高性能和高负荷的工业设计 V-857是用于工业应用的重型和高动态线性平台。它的设计始终面向苛刻的工业条件，它的特点是高刚度和使用高质量的部件：循环球轴承导轨，3相线性马达，增量式或绝对式线性编码器。编码器的高分辨率使其具有出色的跟踪性能，跟踪误差小，沉降时间短。工业兼容的连接器提供了一个快速和安全的连接。可选的运动平台以三层M6孔型提供多功能的装配选项。 直接驱动的直线电机 3相磁性直接驱动装置在传动系统中不使用机械部件，它们将驱动力直接传送到运动平台上，没有摩擦。该驱动器可以达到很高的速度和加速度。无铁电机特别适用于对精度要求最高的定位任务，因为它与永磁体没有不良的相互作用。这使得即使在最低速度下也能平稳运行，同时，在高速度下也没有振动。控制行为的非线性得以避免，任何位置都可以轻松控制。驱动力可以自由设置。 选项 可选附件。V-857.TT1运动平台 ...
PI Ceramic GmbH
运行行程: 0 mm
载荷: 3 kg
... - 旋转平台定位模块 - 带有嵌入式控制器的微型压电式智能平台 - 不需要单独的电子元件 - 压电平台提供连续的360°旋转和绝对位置反馈 - 这个智能平台的直径只有12毫米，是需要在有限空间内进行精确旋转定位的科学和工业应用的理想选择。 - 光学调谐 ...
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