适用真空位移台

运行行程: 379, 179, 259, 99 mm
速度: 15 mm/s

... CLL42提供了一个大的平台来安装有效载荷，并具有高达619毫米的行程范围。 CLL42配备了SmarActs可更换的驱动单元，这保证了容易接触到平台的核心部件--压电驱动。这使得维修成为一项非常简单的任务。它也有一个高真空版本。标准版本提供99、179、259和379毫米的行程。当然，也可根据要求提供特殊长度。 机械性能 阻塞力[N] - ≥ 5 最大。正常力 [N] - 30 最大。提升力[N] - 1.5 尺寸[mm] - 60 x 16 (开环式滑架) 重量[g] ...

运行行程: 26 mm
速度: 20 mm/s

... SLC-1740的尺寸为40 x 17 x 8.5 mm，提供26 mm的行程范围和30 N的法向力。 请注意，该线性压电平台的可下载文件显示了SLC-1740在大气或高压环境下的尺寸和规格，配备了S型位置传感器。对于其他变体的技术图纸和详细规格，如UHV兼容的平台，具有更高阻挡力的平台或其他传感器选项，请联系我们的销售团队。 机械 阻挡力[N] - ≥ 3.5 最大。法向力 [N] - 30 最大。提升力[N] -> 1.5 尺寸[mm] - 40 x 17 ...

运行行程: 31 mm
速度: 20 mm/s

... SLC-1750的行程范围为31毫米，法向力为30牛，尺寸为50 x 17 x 8.5毫米。 请注意，该线性压电平台的可下载文件显示了SLC-1750在大气或高压环境下的尺寸和规格，配备了S-位置传感器。有关其他变体的技术图纸和详细规格，如兼容UHV的平台，具有更高阻挡力的平台或其他传感器选项，请联系我们的销售团队。 机械 阻挡力[N] - ≥ 3.5 最大。法向力 [N] - 30 最大。提升力[N] -> 1.5 尺寸[mm] - 50 x 17 x 8.5 重量[g] ...

运行行程: 25 mm - 200 mm
速度: 0 m/s - 0.1 m/s

运行行程: 20 mm - 40 mm
速度: max 0.048 m/s

运行行程: 10 mm
速度: 1 mm/s

运行行程: 3 mm
速度: 1.5 mm/s

运行行程: 8 mm
速度: 1.2 mm/s

运行行程: 10 mm - 50 mm
速度: min 15.0 mm/s

运行行程: 30, 50, 100 mm
速度: 5, 50 mm/s

... - 真空：所有范围HV / UHV / EUV，最高10-11mbar - 润滑液高达10-8/干燥高达10-11mbar - 最大。烘烤温度。120°C 可选择配置。 - 有磁性、低磁性和无磁性版本 - 有多达2个不同的电机用于高负荷的运动 - 不同的电机变体。纳米运动、压电电机或直线电机 - 可与XYZ定位系统结合使用 - 可与旋转台（如DT105）结合用于旋转应用 - 可根据试验室的安装情况进行个别调整 - 适用于洁净室ISO 14644-1的版本（根据要求可达到1级）。 - ...

运行行程: 50, 100 mm
速度: 5 mm/s

... - 真空：所有范围的HV / UHV / EUV，最高可达10-11毫巴 - 润滑液体可达10-8/干燥可达10-11mbar - 最大。烘烤温度。120°C - 洁净室等级为4级ISO 14644-1（根据要求可达到1级）。 - 非常长的使用寿命，即使是干运行 可选择配置。 - 可提供压电式断路 - 材料选择和真空润滑适合于应用 - 可根据炉膛内的安装情况进行个别调整 - 适用于洁净室ISO 14644-1的版本（可按要求达到1级）。 - 可选择带控制器FMC400/450 在纳米范围内的稳定性，即使是高达10公斤的高负载也是如此 线性平台设计用于在极端条件下定位具有高刚性的负载，如在高真空和超高真空中。配有压电式卡钳制动器，该定位系统实现了纳米范围内的稳定性。 应用的领域 超高真空和极端紫外线辐射下的半导体技术，晶圆对准，晶圆检测，相机对准，传感器对准，触点检测，镜面对准，探测，真空室，研究，光束线仪器，电子组装和检测，高精度扫描应用 ...

运行行程: 60, 130 mm
速度: 5 mm/s

... - 真空：所有范围的HV / UHV / EUV，最高可达10-11毫巴 - 润滑液体可达10-8/干燥可达10-11mbar - 最大。烘烤温度。120°C - 可作为磁性版本 可选择配置。 - 材料选择和真空润滑适合于应用 - 可根据炉膛内的安装情况进行单独配置 - 适用于洁净室ISO 14644-1的版本（根据要求可达到1级）。 - 可选择带控制器FMC400/450 它被用作多轴系统以及同时扫描多个样品的强大组件。它可以在超高真空下实现高负荷的高度精确定位，甚至在垂直方向。 应用范围 多轴系统的设置，过程自动化，三维扫描，样品扫描，成像系统的定位，显微镜，样品分析，半导体检测，生物技术和半导体技术的质量保证，研究，光束线，加速器，同步辐射 ...