适用真空纳米定位平台

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线性纳米定位平台
线性纳米定位平台
SOM-MS-8080

运行行程: 51 mm
速度: 8 mm/s
重复精度: 80, 160, 1,000 nm

... SOM-MS-8080 是 SmarAct 最紧凑的显微镜载物台,提供 X 和 Y 轴各 51 毫米的行程范围。载物台尺寸为长 138 毫米、宽 138 毫米,高度 32.15 毫米。与所有 SmarAct 显微镜载物台一样,SOM-MS-8080 基于 SmarAct 的高精度 SLC 系列线性载物台,因此具有最高的重复性和纳米级分辨率。样品夹持器设计用于轻松更换样品,可容纳长度为 76 毫米、宽度在 25 至 26 毫米之间的载玻片。 显微镜载物台的底板兼容面包板。盖板以及载物台本身均具有高度可定制性。 ...

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SmarAct GmbH
线性纳米定位平台
线性纳米定位平台
SOM-MS-12090

运行行程: 83, 63 mm
速度: 8 mm/s
重复精度: 240, 120, 1,000 nm

... SOM-MS-12090 长 226 毫米、宽 176 毫米、高 30 毫米,是 SmarAct 第二大显微镜平台。该平台的 X 轴行程范围为 83 毫米,Y 轴行程范围为 63 毫米。它基于 SmarAct 的紧凑型 SLC 线性平台,具有纳米级精度和最高的闭环重复性。 与面包板兼容的底板和用于标准插入件的适配器确保了与普通制造商的兼容性。盖板和平台本身可高度定制。 ...

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SmarAct GmbH
线性纳米定位平台
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SOM-MS-180150

运行行程: 103, 123 mm
速度: 8 mm/s
重复精度: 1,000, 360, 180 nm

... SOM-MS-180150 的 X 轴和 Y 轴行程分别为 123 毫米和 103 毫米,是所有 SmarAct 显微平台中行程范围最大的。SOM-MS-180150 以结构紧凑的 SLC 线性平台为基础,具有纳米级精度和最高的闭环重复性。平台长度为 286 毫米,宽度为 216 毫米,高度为 30 毫米。平台重量为 2380 克。 通过标准插件适配器和兼容面包板的底板,确保了与常见制造商的兼容性。盖板和平台本身均可高度定制。 ...

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SmarAct GmbH
线性纳米定位平台
线性纳米定位平台
SOM-808030

运行行程: 51, 19 mm
速度: 8 mm/s
重复精度: 160, 1,000, 80 nm

... SOM-MS-808030 是 SmarAct 显微镜载物台系列中尺寸较大的型号,支持垂直方向的移动。其 X 轴和 Y 轴的移动范围分别为 51 毫米,Z 轴的移动范围为 19 毫米。该载物台的尺寸为长 138 毫米、宽 138 毫米,高度为 43.8 毫米。由于 SOM-MS-808030 基于 SmarAct 的 SLC 系列线性载物台,因此它提供了最高的闭环重复性和纳米级分辨率。样品夹持器设计用于轻松更换样品,可容纳长度为 76 毫米、宽度在 25 至 26 毫米之间的载玻片。 显微镜载物台的底板与面包板兼容。盖板以及载物台本身均具有高度可定制性。 ...

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SmarAct GmbH
适用真空纳米定位平台
适用真空纳米定位平台
LA97 series

运行行程: 100, 200, 300 mm
速度: 5 mm/s
重复精度: 0.015 µm - 0.02 µm

... LA97 - 真空线性平台和轴 纳米级线性平台 高达10E-11的HV/UHV,100 - 300 mm行程,0.02 µm重复性,最高10 kg负载 - 真空:所有区域HV/UHV,最高10E-11 mbar - 润滑:液体可达10E-8 mbar/干的可达10E-11 mbar - 最大。烘烤温度。120°C 可选择配置。 - 可提供磁性、低磁性和无磁性版本 - 材料选择和真空润滑适合于应用 - 可根据炉膛内的安装情况进行单独配置 - 适用于洁净室ISO 14644-1的版本(根据要求可达到1级)。 - ...

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Steinmeyer Mechatronik GmbH
XY轴纳米定位平台
XY轴纳米定位平台
KLT300 series

运行行程: 10 mm
速度: 5 mm/s

... - 真空:所有范围的HV / UHV / EUV,最高可达10-11毫巴 - 润滑液体可达10-8/干燥可达10-11mbar - 最大。烘烤温度。120°C - 孔径:80 x 80 mm 可选择配置。 - 带或不带测量系统 - 可选择带导螺杆驱动或润滑的滚珠螺杆驱动以获得更高的速度 - 可与旋转台(如DT155)结合,用于旋转应用 - 适应应用的材料选择和真空润滑 - 根据试验室的安装情况进行单独调整 - 设计用于洁净室ISO 14644-1(根据要求达到1级)。 - 可选择带控制器FMC400/450 在纳米范围内具有最高的稳定性,即使在干燥的操作中也是如此 带透射光孔的定位系统由两个LT300直线平台组合而成,形成一个精确的重型XY平台,适用于高真空、超高真空和极端紫外线辐射下的应用。该系统的运行完全不需要润滑剂。它的交叉滚子导轨和导螺杆的概念使其在纳米范围内具有极高的稳定性。另外,该系统还可以设计成带润滑的滚珠丝杠驱动,以获得更高的速度。 应用的领域 重物的精密定位,超高真空和极端紫外线辐射下的研究,样品制备,样品扫描,样品处理,生物芯片,相机对准,材料研究,材料分析,光束线,加速器,同步加速器 ...

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