六足式位移台 E-HEX-10.6.100线性旋转线性电机驱动
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产品规格型号
- 方向定位
- 线性, 旋转
- 类型
- 线性电机驱动, 直线伺服电机, 手动操控式, 六足式
- 轴数量
- 6轴
- 其他特性
- 高精度, 紧凑型, 用于显微镜, 适用真空, 直接传动, 滚珠, 带位置指示器
- 运行行程
50 mm
(1.969 in)- 速度
100 m/s
(328.08 ft/s)- 重复精度
0.2 µm
- 载荷
10 kg
(22.05 lb)
产品介绍
六轴六脚架三脚架结构装置 E-HEX-10.6.100.100-XXX 系列平行六自由度平台
简要说明：
特点高精度、可组装、可定制、光圈 460mm
结构紧凑、坚固耐用，可提供稳定可靠的运动精度 具有超精细的定位分辨率和足够的有效载荷能力，是需要复杂多自由度运动而可用空间有限的应用的理想之选。适用于半导体测试晶片的水平校准。光学检测、大中空孔径调整光路的应用场景。
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