压电位移台

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线性位移台
线性位移台
FB Series

运行行程: 20 mm - 300 mm

Nanomotion FB系列直线平台采用紧凑型结构,提供精密线性驱动。直接驱动电机操作简单,结构坚固。FB系列平台易于多轴配置,可与不同尺寸的滑块,行程和电机配置,并可配置解析度高达10纳米的光电编码器。

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Johnson Electric/德昌电机
线性位移台
线性位移台
LA97

运行行程: 1 mm - 300 mm
速度: 1 mm/s - 10 mm/s
重复精度: 0.015 µm - 5 µm

... LA97 纳米线性平台 应用:扫描 优点:纳米定位,也可垂直定位 特点: 定位分辨率极高,刚性最强,可配备 2 个(或 4 个)电机 - 真空:所有压力范围 HV / UHV,低至 10E-11 mbar - 磁性:磁性 | 低磁性 | 无磁性 - 润滑:低至 10E-8 的液体润滑 / 低至 10E-11 毫巴的干润滑 - 最高烘烤温度120°C 选购件 - 提供磁性、低磁性和无磁性型号 - 根据应用选择材料和真空润滑 - 根据室内安装情况进行个性化调整 - ...

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Steinmeyer Holding GmbH
线性位移台
线性位移台
MT53

运行行程: 1 mm - 10 mm
速度: 0.2 mm/s - 10 mm/s
重复精度: 0.2 µm - 5 µm

... MT53 高分辨率微型平台 应用:多用途微型平台 优点:用于高分辨率扫描 特点:高分辨率定位 - 真空:所有压力范围 HV /UHV 低至 10E-11 毫巴 - 润滑:液体润滑低至 10E-8mbar / 干润滑低至 10E-11mbar - 磁性:磁性 - 最高烘烤温度120°C 可选项: - 根据应用选择材料和真空润滑 - 根据箱体内的安装情况进行个性化调整 - 可选配控制器 FMC400/450 技术数据 - ...

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Steinmeyer Holding GmbH
线性位移台
线性位移台
KT105

运行行程: 1 mm - 50 mm
速度: 1 mm/s - 50 mm/s
重复精度: 0.3 µm - 5 µm

... KT105-50 高分辨率 XY 平台 应用:真空 XY 平台 优点: 快速、高分辨率 特点:偏航和俯仰参数比带孔径的型号高三倍 - 真空:所有 HV / UHV 区域,最高 10-11 毫巴 - 磁性:磁性 | 低磁性 | 无磁性 - 润滑:液态最高 10-8 / 干态最高 10-11 毫巴 - 最高烘烤温度: 120°C120°C 可选项 - 有孔和无孔 - 提供磁性、低磁性和无磁性型号 - 不同的电机类型:纳米电机或压电电机 - 可与 XYZ ...

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Steinmeyer Holding GmbH
线性位移台
线性位移台
SLC-1740

运行行程: 26 mm
速度: 20 mm/s
重复精度: 40, 200 nm

... SLC-1740的尺寸为40 x 17 x 8.5 mm,提供26 mm的行程范围和30 N的法向力。 请注意,该线性压电平台的可下载文件显示了SLC-1740在大气或高压环境下的尺寸和规格,配备了S型位置传感器。对于其他变体的技术图纸和详细规格,如UHV兼容的平台,具有更高阻挡力的平台或其他传感器选项,请联系我们的销售团队。 机械 阻挡力[N] - ≥ 3.5 最大。法向力 [N] - 30 最大。提升力[N] -> 1.5 尺寸[mm] - 40 x 17 ...

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SmarAct GmbH
线性位移台
线性位移台
SLC-1750

运行行程: 31 mm
速度: 20 mm/s
重复精度: 40, 200 nm

... SLC-1750的行程范围为31毫米,法向力为30牛,尺寸为50 x 17 x 8.5毫米。 请注意,该线性压电平台的可下载文件显示了SLC-1750在大气或高压环境下的尺寸和规格,配备了S-位置传感器。有关其他变体的技术图纸和详细规格,如兼容UHV的平台,具有更高阻挡力的平台或其他传感器选项,请联系我们的销售团队。 机械 阻挡力[N] - ≥ 3.5 最大。法向力 [N] - 30 最大。提升力[N] -> 1.5 尺寸[mm] - 50 x 17 x 8.5 重量[g] ...

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SmarAct GmbH
线性位移台
线性位移台
SLC-1760

运行行程: 41 mm
速度: 20 mm/s
重复精度: 40, 200 nm

... SLC-1760的尺寸为60 x 17 x 8.5 mm,提供41 mm的行程范围和30 N的法向力。 请注意,该线性压电平台的可下载文件显示了SLC-1760在大气或高压环境下的尺寸和规格,配备了S型位置传感器。对于其他变体的技术图纸和详细规格,如UHV兼容的平台,具有更高阻挡力的平台或其他传感器选项,请联系我们的销售团队。 机械 阻挡力[N]≥ 3.5 最大。法向力[N]30 最大。提升力[N]>1.5 尺寸[mm]60 x 17 x 8.5 重量[g]38 开环 分辨率[nm]< ...

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SmarAct GmbH
线性位移台
线性位移台
MS15

运行行程: 10 mm
速度: 1.5 mm/s

... 10mm 行程,22 x 15 mm 占地面积 紧凑设计最小的 产品,采用 压电电惯性驱动的超小型微型翻译阶段。 ...

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mechOnics ag
平动位移台
平动位移台
MS15

运行行程: 3.5 mm
速度: 1.5 mm/s

... 3.5mm 行程,15 x 15 mm 占地面积 紧凑设计 最小的产品, 具有压电电子惯性驱动的超小型翻译阶段。 ...

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mechOnics ag
平动位移台
平动位移台
MS30

运行行程: 8 mm
速度: 1.2 mm/s

... 8 毫米行驶在 30 x 30 mm 的占地面积, 适用于各种应用领域, 我们的全能 多轴组合,无需适配器板, 带压电惯性驱动的微型翻译阶段。 ...

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mechOnics ag
旋转位移台
旋转位移台
XRT-U 30

... XRT-U 30 是一款由超声波压电马达驱动的紧凑型精密旋转级。 使用 XRT-U 30,您可以实现与空气轴承旋转级相媲美的误差运动,但体积更小,价格更低。 与其他压电马达技术相比,超声波压电马达可确保您更长的使用寿命、无噪声操作和更低的能耗。 这使得 XRT-U 成为最先进的旋转平台,适用于微型 CT 扫描仪、计量应用以及电子显微镜等真空和非磁性应用。 ...

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Xeryon
适用真空位移台
适用真空位移台
MT105 series

运行行程: 30, 50, 100 mm
速度: 5, 50 mm/s

... - 真空:所有范围HV / UHV / EUV,最高10E-11 mbar - 润滑液最高可达10E-8 / 干式最高可达10E-11 mbar - 最大。烘烤温度。120°C 可选择配置。 - 有磁性、低磁性和无磁性版本 - 有多达2个不同的电机用于高负荷的运动 - 不同的电机变体。纳米运动、压电电机或线性电机 - 可与XYZ定位系统结合使用 - 可与旋转台(如DT105)结合用于旋转应用 - 可根据试验室的安装情况进行个别调整 - 适用于洁净室ISO 14644-1的版本(根据要求可达到1级)。 - ...

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Steinmeyer Mechatronik GmbH
高精度位移台
高精度位移台
KDT105 series

运行行程: 50 mm
速度: 2.5, 25 mm/s

... 带孔径和交叉滚子轴承的XY平台为高真空、超高真空和极端紫外线辐射下的应用提供了高动态和速度。与它的尺寸相比,它可以实现非常小的步长。 配备一个压电马达,它可以实现纳米范围内的最小步长,并具有几乎无法达到的位置稳定性。通过纳米运动,它实现了非常高的动态和高速,并具有最大的使用寿命,其精度在微米范围内。 它可以很容易地与MT105升降台结合,从而提供许多应用的可能性。 应用的领域 实验室应用的精密定位,显微镜和半导体技术,超高真空和极紫外辐射下的研究,样品制备,样品扫描,样品处理,生物芯片,晶圆检查,晶圆对准,相机调整,材料研究,材料分析,光束线,加速器,同步辐射 ...

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Steinmeyer Mechatronik GmbH
旋转位移台
旋转位移台
DT155

... - 真空:所有范围的HV,最高可达10E-8 mbar - 润滑液高达10E-8 mbar - 最大。烘烤温度。100°C 可选择配置。 - 有磁性和低磁性版本 - 材料选择和真空润滑适合于应用 - 可根据炉膛内的安装情况进行单独配置 - 适用于洁净室ISO 14644-1的版本(根据要求可达到1级)。 - 可选配控制器FMC400/450 高精度和动态成像 这个紧凑而平坦的旋转台在快速过程中可以在真空中实现极高的分辨率。由于79毫米的大透射光,即使是大的样品也可以被精确地定位、测量和分析。它可以被组合成复杂的多轴系统,并且可以通过我们的FMC400/450控制器轻松控制。 应用的领域 高精度和动态显微镜,例如:电子显微镜、离子显微镜、扫描电子显微镜、扫描隧道显微镜、光束线仪器、同步辐射、材料研究、材料分析、晶圆检测、半导体质量控制、半导体研究 ...

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Steinmeyer Mechatronik GmbH
线性位移台
线性位移台

运行行程: 5 mm

Z轴位移台
Z轴位移台
P-58 series

运行行程: 50 µm - 240 µm
重复精度: 5, 10 nm

... 大孔径的高动态性能 - 平行运动学,响应时间更快,多轴精度更高 - 零间隙、高精度的挠性导轨系统 - PICMA®压电推杆带来的出色使用寿命 - 清晰的孔径66毫米×66毫米 - 由于电容式传感器而具有最高的线性度 - 计量学 - 干涉测量 - 光子学/集成光学 - 光刻技术 - 纳米定位 - 扫描显微镜 - 样品对准 - 微机械加工 电容式传感器的亚纳米级分辨率 电容式传感器以亚纳米的分辨率进行测量,无需接触。它们保证了出色的运动线性度、长期稳定性和kHz范围内的带宽。 自动配置和快速组件交换 机械装置和控制器可以根据需要进行组合并快速交换。所有的伺服和线性化参数都存储在机械装置的D-sub连接器的ID芯片中。数字控制器的自动校准功能在每次打开控制器时都使用这些数据。 得益于PICMA®压电推杆的出色使用寿命 获得专利的PICMA®压电执行器是全陶瓷绝缘的。这可以保护它们免受潮湿和因漏电电流增加而导致的故障。PICMA®执行器的使用寿命比传统的聚合物绝缘执行器长十倍。事实证明,1000亿次的循环没有一次故障。 ...

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Physik Instrumente/德国PI
旋转位移台
旋转位移台
Agilis™

Agilis 系列高精度微型旋转台采用 Newport 全新 Agilis 压电步进直流电机。Agilis 平移台具有超高的调节灵敏度和方便的远程操作,其价格和尺寸与高品质的手动平移台相当。 •超高的调节灵敏度 •超紧凑的系统集成 •一次设置永久有效的长期稳定性 •方便的远程操作 •适用于直读编码器和 CONEX 控制器 •真空兼容版本 特征 轻巧紧凑 AG-PR100 是对光学元件和小型样品进行精密旋转调整的理想、经济高效的解决方案。超紧凑,轻巧的 ...

XYZ轴位移台
XYZ轴位移台
MDE120

运行行程: 2 mm
载荷: 4.5 kg

... - 200纳米的分辨率 - 最小的弧形位移 - 正交对位槽 - 超稳定的专利设计XYZ弯曲平台 MDE120挠性平台装有标准的手动调节器,提供200纳米的调节分辨率,三轴中的每一轴有2毫米的行程。 Elliot Gold™系列XYZ挠性平台是由Martock Design公司发明并获得专利†的广受欢迎的原始平台的发展,该公司现在是Elliot Scientific公司的子公司。挠性平台是高精度设备操作的理想选择。 MDE120 XYZ 柔性平台轴线图应用范围包括单模、多模和保持偏振的光纤发射系统以及波导对准,直到生物科学中的微结构操作。弧形位移(纵向弯曲运动导致的垂直位移)比竞争产品好4倍。 所有附件的光轴高度都在顶板之上18毫米,使光轴在平台底部之上94毫米。 配置:右手版本 调节器类型 ...

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Elliot Scientific
线性位移台
线性位移台
PKS series

... 压电系统的 PKS 1 是该公司的 PKS 系列镜面倾斜系统的一部分。 该系统具有正交倾斜轴、广泛的谐振频率水平和紧凑的设计。 它能够适应真空条件,微调范围为 1 mrad,手动偏移角度速率为 ± 2°。 还可提供 1/2 "和 1" 镜的定制型号配置。 PKS 1 通常用于涉及激光技术工艺、光束校准操作、扫描设备等应用。 ...

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piezosystem jena GmbH/德国PJ
XY轴位移台
XY轴位移台
XY25XS

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CEDRAT TECHNOLOGIES
立式位移台
立式位移台
PST8E510A

速度: 10 mm/s
重复精度: 300 nm
载荷: 150 g

使用電感式感測元件作為位置資訊回饋核心。在提供實用地定位解析度的同時具備更加緊緻的體積, 更優異的環境耐受性以及極具競爭力的價格。本產品適用於各種需要精密定位、微奈米級運動操控的應用並可使用於一般真空環境中。 電感式的壓電垂直平台提供10毫米(mm)的運動行程,最大負載為150克(g)並具備37奈米(nm)之解析度。 應用 半導體產業 生物醫療 光電/光通訊產業

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STAF
XYZ轴位移台
XYZ轴位移台

运行行程: 10, 13 mm

... XYZ 压电级 压电电机驱动 旅行 13 x 13 x 10 毫米 超高压兼容 ...

线性位移台
线性位移台
2000 µm, 0.15 N/µm, 150 V

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DSM
倾斜式位移台
倾斜式位移台
DK-M3-RS-U-1M-20

运行行程: 0 mm - 0 mm

... - 单轴 - 镜像定位系统 - 不需要分离的电子设备 -微型压电智能平台,内置 控制器,用于简单、精确的点对点定位。 该系统直径只有12毫米,是在有限空间内进行精确的点对点光束转向的理想选择。 ...

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COMESTERO SISTEMI
旋转定位台
旋转定位台
RT series

... 设计用于完成高精确的测量任务。旋转单元采用抗摩擦轴承,无间隙。突出的刚度。高分辨率的编码器,可实现高定位精度。 RT-350 带压电驱动。最适合作为CT测量系统的旋转轴,因为所用材料的磁场强度低。 选项。 >气动夹持旋转 >防溅罩 RT-500 带扭矩驱动。RT-500的优势结构使得它可以作为多轴系统中的旋转轴应用。 选项。 >气动夹持旋转 >防溅罩 >带伺服驱动的蜗轮蜗杆传动 RT-1500 带伺服驱动。轴向有空气轴承。底板和旋转台是天然硬石,花岗岩。由于自动调节,在不同的重量负荷下,空气间隙将保持不变。 选项。 >旋转的气动夹紧 >防溅板 >角度编码器 >手动调整 ...

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