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运行行程: 50 µm - 240 µm
重复精度: 5, 10 nm
... 大孔径的高动态性能 - 平行运动学，响应时间更快，多轴精度更高 - 零间隙、高精度的挠性导轨系统 - PICMA®压电推杆带来的出色使用寿命 - 清晰的孔径66毫米×66毫米 - 由于电容式传感器而具有最高的线性度 - 计量学 - 干涉测量 - 光子学/集成光学 - 光刻技术 - 纳米定位 - 扫描显微镜 - 样品对准 - 微机械加工 电容式传感器的亚纳米级分辨率 电容式传感器以亚纳米的分辨率进行测量，无需接触。它们保证了出色的运动线性度、长期稳定性和kHz范围内的带宽。 自动配置和快速组件交换 机械装置和控制器可以根据需要进行组合并快速交换。所有的伺服和线性化参数都存储在机械装置的D-sub连接器的ID芯片中。数字控制器的自动校准功能在每次打开控制器时都使用这些数据。 得益于PICMA®压电推杆的出色使用寿命 获得专利的PICMA®压电执行器是全陶瓷绝缘的。这可以保护它们免受潮湿和因漏电电流增加而导致的故障。PICMA®执行器的使用寿命比传统的聚合物绝缘执行器长十倍。事实证明，1000亿次的循环没有一次故障。 ...
Physik Instrumente
运行行程: 1 in
... Agilis 系列高精度微型旋转台采用 Newport 全新 Agilis 压电步进直流电机。Agilis 平移台具有超高的调节灵敏度和方便的远程操作，其价格和尺寸与高品质的手动平移台相当。 •超高的调节灵敏度 •超紧凑的系统集成 •一次设置永久有效的长期稳定性 •方便的远程操作 •适用于直读编码器和 CONEX 控制器 •真空兼容版本 特征 轻巧紧凑 AG-PR100 是对光学元件和小型样品进行精密旋转调整的理想、经济高效的解决方案。超紧凑，轻巧的 AG-PR100 和 ...
运行行程: 26 mm
速度: 20 mm/s
重复精度: 40, 200 nm
... SLC-1740 的尺寸为 40 x 17 x 8.5 mm，行程范围为 26 mm，法向力为 30 N。 请注意，该线性压电平台的可下载文件显示的是配备 S 位置传感器的 SLC-1740 用于大气或高压环境的尺寸和规格。如需了解其他变体的技术图纸和详细规格，如 UHV 兼容平台、阻尼力更大的平台或其他传感器选件，请随时与我们联系。 机械性能 阻挡力 [N] - ≥ 3.5 最大阻尼力 [N] - ≥ 3.5法向力 [N] - 30 最大提升力 [N] - > 1.5提升力 [N] - > ...
SmarAct GmbH
运行行程: 31 mm
速度: 20 mm/s
重复精度: 40, 200 nm
... SLC-1750 的行程范围为 31 毫米，法向力为 30 牛，尺寸为 50 x 17 x 8.5 毫米。 请注意，该线性压电平台的可下载文件显示的是 SLC-1750 的尺寸和规格，适用于大气或高压环境，配备 S 位置传感器。如需了解其他变体的技术图纸和详细规格，如 UHV 兼容平台、具有更高阻挡力的平台或其他传感器选件，请随时与我们联系。 机械结构 扫描范围 [µm] - > 1.3 阻挡力 [N] - ≥ 3.5 最大法向力 [N] - 30 最大提升力 [N] - > 1.5提升力 ...
SmarAct GmbH
运行行程: 41 mm
速度: 20 mm/s
重复精度: 40, 200 nm
... SLC-1760 的尺寸为 60 x 17 x 8.5 mm，行程范围为 41 mm，法向力为 30 N。 请注意，该线性压电平台的可下载文件显示的是配备 S 位置传感器的 SLC-1760 在大气或高压环境下的尺寸和规格。如需了解其他变体的技术图纸和详细规格，如 UHV 兼容平台、阻尼力更大的平台或其他传感器选件，请随时与我们联系。 机械结构 扫描范围 [µm] - > 1.3 阻挡力 [N]≥ 3.5 最大法向力 [N]30 最大提升力提升力 [N]> 1.5 尺寸 [mm]60 x 17 ...
SmarAct GmbH
运行行程: 10 mm
速度: 1.5 mm/s
载荷: 20 g
... 设计紧凑 体积最小 的产品 采用压电惯性驱动的超小型微型平移台。 技术数据 宽度 - 22 毫米 高度 - 7 毫米 深度 - 15 毫米 最大负载 力矩 (Mx) - 4.5 牛米 力矩 (My) - 1.5 牛厘米 力矩 (Mz) - 3.2 牛厘米 阻挡力 (Fx) - 3 N 轴承力 (Fy, Fz) - 20 N 制导精度 偏航角 - 20 弧秒 俯仰角 - 60 弧秒 垂直偏差 - 1 微米 横向偏差 - 2 微米 ...
mechOnics ag
运行行程: 3.5 mm
速度: 1.5 mm/s
载荷: 6 g
... 设计紧凑 我们产品组合中最小的产品 采用压电惯性驱动的超小型微型平移台。 技术数据 宽度 - 15 毫米 高度 - 7 毫米 深度 - 15 毫米 速度 - 1.5 毫米/秒 最大载荷 力矩 (Mx) - 4 牛顿/厘米 力矩 (My) - 4 牛厘米 力矩 (Mz) - 4 牛厘米 阻挡力 (Fx) - 3 N 轴承力 (Fy, Fz) - 20 N 制导精度 偏航角 - 20 弧秒 俯仰角 - 60 弧秒 垂直偏差 - 1 微米 横向偏差 - 2 微米 ...
mechOnics ag
运行行程: 8 mm
速度: 1.2 mm/s
载荷: 32 g
... 适用于各种应用领域 我们的多面手 多轴组合，无需转接板 带压电惯性驱动的微型平移台。 技术数据 宽度 - 30 毫米 高度 - 12.5 毫米 深度 - 30 毫米 速度 - 1.2 毫米/秒 最大负载 力矩 (Mx) - 5 牛顿/厘米 力矩 (My) - 5 牛厘米 力矩 (Mz) - 5 牛厘米 阻挡力 (Fx) - 4.5 N 轴承力 (Fy, Fz) - 30 N ...
mechOnics ag
运行行程: 1 mm - 300 mm
速度: 1 mm/s - 10 mm/s
重复精度: 0.015 µm - 5 µm
... LA97 纳米线性平台 应用：扫描 优点：纳米定位，也可垂直定位 特点： 定位分辨率极高，刚性最强，可配备 2 个（或 4 个）电机 - 真空：所有压力范围 HV / UHV，低至 10E-11 mbar - 磁性：磁性 | 低磁性 | 无磁性 - 润滑：低至 10E-8 的液体润滑 / 低至 10E-11 毫巴的干润滑 - 最高烘烤温度120°C 选购件 - 提供磁性、低磁性和无磁性型号 - 根据应用选择材料和真空润滑 - 根据室内安装情况进行个性化调整 - 适用于 ISO 14644-1 ...
Steinmeyer Holding GmbH
... 压电系统的 PKS 1 是该公司的 PKS 系列镜面倾斜系统的一部分。 该系统具有正交倾斜轴、广泛的谐振频率水平和紧凑的设计。 它能够适应真空条件，微调范围为 1 mrad，手动偏移角度速率为 ± 2°。 还可提供 1/2 "和 1" 镜的定制型号配置。 PKS 1 通常用于涉及激光技术工艺、光束校准操作、扫描设备等应用。 ...
piezosystem jena GmbH
速度: 500 mm/s
重复精度: 0.15, 0.1 µm
载荷: 50 kg
... E-ABT-XY-360X360 (陶瓷直线电机平台) XY 空气轴承直线电机平台 简要说明： 陶瓷版采用高纯度氧化铝作为气浮结构和导轨元件。与花岗岩和金属相比，氧化铝陶瓷具有较小的膨胀系数，以及直线度、硬度和耐磨性等优点。 扫描应用或高精度定位的理想选择 与无尘室兼容 行程范围达 360 毫米 × 360 毫米 负载能力达 500 N 分辨率达 4.88nm 或 1nm，速度达 500mm/s 增量式编码器或绝对式编码器 可提供氧化铝陶瓷型号，这种材料具有最高的精度和性能，但价格较高。 过滤器和空气准备套件 附加轴 机床底座 花岗岩底板和减震系统 适用于附加定位器的支架，如尖端/倾斜平台或带压电驱动的 ...
NATSU PRECISION TRADE LIMITED
运行行程: 2 mm
载荷: 4.5 kg
... - 200 纳米分辨率 - 最小弧形位移 - 正交对准槽 - 超稳定的专利设计 XYZ 挠性平台 MDE120 挠性平台配有标准手动调节器，调节分辨率为 200 nm，三个轴的行程均为 2 mm。 埃利奥特 Gold™ 系列 XYZ 挠性平台是由 Martock Design 公司（现为埃利奥特科学公司的子公司）发明并获得专利† 的广受欢迎的原始平台发展而来的。挠性平台是高精度设备操作的理想选择。 MDE120 XYZ 挠性平台轴向图应用范围从单模、多模和偏振维持光纤的光纤发射系统以及波导对准，到生物科学中的微结构操作。弧形位移（纵向挠曲运动引起的垂直位移）比同类产品高出 ...
Elliot Scientific
... TSD-X-PDM x 轴压电直线运动平台是我们的旗舰平台，采用 EXC 轴承和硬化工具钢结构，分辨率达 20 纳米。 注意事项 - 推杆安装支架可能会超出某些平台的顶面。 - 请注意，根据有效载荷的大小，额定行程可能会减少。 ...
... XRT-U 30 是一款由超声波压电马达驱动的紧凑型精密旋转级。 使用 XRT-U 30，您可以实现与空气轴承旋转级相媲美的误差运动，但体积更小，价格更低。 与其他压电马达技术相比，超声波压电马达可确保您更长的使用寿命、无噪声操作和更低的能耗。 这使得 XRT-U 成为最先进的旋转平台，适用于微型 CT 扫描仪、计量应用以及电子显微镜等真空和非磁性应用。 ...
Xeryon
速度: 10 mm/s
重复精度: 300 nm
载荷: 150 g
... 使用電感式感測元件作為位置資訊回饋核心。在提供實用地定位解析度的同時具備更加緊緻的體積, 更優異的環境耐受性以及極具競爭力的價格。本產品適用於各種需要精密定位、微奈米級運動操控的應用並可使用於一般真空環境中。 電感式的壓電垂直平台提供10毫米(mm)的運動行程，最大負載為150克(g)並具備37奈米(nm)之解析度。 應用 半導體產業 生物醫療 光電/光通訊產業 ...
STAF
运行行程: 30, 50, 100 mm
速度: 5, 50 mm/s
... - 真空：所有范围HV / UHV / EUV，最高10E-11 mbar - 润滑液最高可达10E-8 / 干式最高可达10E-11 mbar - 最大。烘烤温度。120°C 可选择配置。 - 有磁性、低磁性和无磁性版本 - 有多达2个不同的电机用于高负荷的运动 - 不同的电机变体。纳米运动、压电电机或线性电机 - 可与XYZ定位系统结合使用 - 可与旋转台（如DT105）结合用于旋转应用 - 可根据试验室的安装情况进行个别调整 - 适用于洁净室ISO 14644-1的版本（根据要求可达到1级）。 - ...
Steinmeyer Mechatronik GmbH
... 用于不同制造商生产的倒置显微镜的电动样品 XY 平移台。 - 坚固稳定的平台设计提供最佳性能 - 大功率粘滑压电电机 - 平行样品台平移，用于光路中心定位 - 允许在每个转台位置安装物镜 - XY 轴与原子力显微镜轴坐标系平行 - XY 运动：10 x 10 mm² - 平台分辨率 ：<1 µm - 平台重新定位：2 µm - 显微镜兼容性：蔡司、尼康、徕卡、奥林巴斯 - 尺寸：340 x 228 x 46 mm³ - 重量：5.15 千克 - 兼容性：FlexAFM ...
... 设计用于完成高精确的测量任务。旋转单元采用抗摩擦轴承，无间隙。突出的刚度。高分辨率的编码器，可实现高定位精度。 RT-350 带压电驱动。最适合作为CT测量系统的旋转轴，因为所用材料的磁场强度低。 选项。 >气动夹持旋转 >防溅罩 RT-500 带扭矩驱动。RT-500的优势结构使得它可以作为多轴系统中的旋转轴应用。 选项。 >气动夹持旋转 >防溅罩 >带伺服驱动的蜗轮蜗杆传动 RT-1500 带伺服驱动。轴向有空气轴承。底板和旋转台是天然硬石，花岗岩。由于自动调节，在不同的重量负荷下，空气间隙将保持不变。 选项。 >旋转的气动夹紧 >防溅板 >角度编码器 >手动调整 ...
运行行程: 0 mm - 0 mm
... - 单轴 - 镜像定位系统 - 不需要分离的电子设备 -微型压电智能平台，内置 控制器，用于简单、精确的点对点定位。 该系统直径只有12毫米，是在有限空间内进行精确的点对点光束转向的理想选择。 ...
COMESTERO SISTEMI