线性位移台 MS30

机动压电多轴

适用于高达 10^(-6) mbar 的高真空条件 我们的多面手 多轴组合，无需转接板 带压电惯性驱动的微型平移台。 技术数据 宽度 - 30 毫米 高度 - 12.5 毫米 深度 - 30 毫米 速度 - 1.2 毫米/秒 最大载荷 力矩 (Mx) - 5 牛顿/厘米 力矩 (My) - 5 牛厘米 力矩 (Mz) - 5 牛厘米 阻挡力 (Fx) - 4.5 N 轴承力 (Fy, Fz) - 30 N 制导精度 偏航角 - 120 弧秒 俯仰角 - 60 弧秒 垂直偏差 - 1 微米 横向偏差 - 2 微米