平动位移台 MS30 压电小型
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产品规格型号
- 方向定位
- 平动
- 其他特性
- 小型
- 运行行程
30 mm
(1.181 in)- 速度
1.2 mm/s
- 载荷
54 g
(1.9 oz)
产品介绍
用于闭环操作（分辨率可达 50nm）
多轴组合，无需转接板
微型平移台，带压电惯性驱动和测量系统。
技术数据
宽度 - 52 毫米
高度 - 12.5 毫米
深度 - 30 毫米
速度 - 1.2 毫米/秒
最大载荷
力矩 (Mx) - 5 牛顿/厘米
力矩 (My) - 5 牛厘米
力矩 (Mz) - 5 牛厘米
阻挡力 (Fx) - 4.5 N
轴承力 (Fy, Fz) - 30 N
制导精度
偏航角 - 170 弧秒
俯仰角 - 160 弧秒
垂直偏差 - 3 微米
横向偏差 - 3 微米
测量信息
参考标记 - 中间
分辨率 - 1 微米至 50 纳米
电源电压 - 5 V
功耗 - 150 mA
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