线性位移台 DS40压电小型适用真空
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产品规格型号
- 方向定位
- 线性
- 其他特性
- 小型, 适用真空
- 运行行程
22 mm
(0.866 in)- 速度
1.2 mm/s
- 载荷
50 g
(1.76 oz)
产品介绍
适用于高达 10^(-9) 毫巴的高真空条件
特别扁平的外壳（高度为 11 毫米）
微型平移平台，带压电惯性驱动。DS 40 的超高真空版本。
技术数据
宽度 - 40 毫米
高度 - 11 毫米
深度 - 40 毫米
动力 (Mx) - 5 Ncm
动力 (My) - 5 Ncm
力矩 (Mz) - 5 牛厘米
阻挡力 (Fx) - 4.5 N
轴承力 (Fy, Fz) - 30 N
制导精度
偏航角 - 20 弧秒
俯仰角 - 60 弧秒
垂直偏差 - 1 微米
横向偏差 - 2 微米
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