线性位移台 MS15

机动压电小型

适用于高达 10^(-6) 毫巴的高真空条件 超紧凑设计 xyz - 可组合 超小型微型平移台，带压电惯性驱动。MS15 真空版。 技术数据 宽度 - 15 毫米 高度 - 7 毫米 深度 - 15 毫米 速度 - 1.5 毫米/秒 最大载荷 力矩 (Mx) - 4 牛顿/厘米 力矩 (My) - 4 牛厘米 力矩 (Mz) - 4 牛厘米 阻挡力 (Fx) - 3 N 轴承力 (Fy, Fz) - 20 N 制导精度 偏航角 - 20 弧秒 俯仰角 - 60 弧秒 垂直偏差 - 1 微米 横向偏差 - 2 微米