线性位移台 MS15
机动压电3轴

线性位移台
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产品规格型号

方向定位
线性
类型
机动, 压电
轴数量
3轴
其他特性
紧凑型, 小型, 适用真空
运行行程

3.5 mm
(0.138 in)

速度

1.5 mm/s

产品介绍

对由10^ (- 9) mbar决定的超高真空条件 超紧缩设计 3.5mm旅行 15 x 15 mm脚印 超与压力折衷惯性驱动的小微型翻译阶段。MS15的UHV编辑。

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