线性位移台 MS15机动压电3轴
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产品规格型号
- 方向定位
- 线性
- 类型
- 机动, 压电
- 轴数量
- 3轴
- 其他特性
- 紧凑型, 小型, 适用真空
- 运行行程
3.5 mm
(0.138 in)- 速度
1.5 mm/s
- 载荷
6 g
(0.21 oz)
产品介绍
适用于高达 10^(-9) 毫巴的超高真空条件
超紧凑设计
占地面积 15 x 15 毫米
超小型微型平移平台，带压电惯性驱动。MS15 的超高真空版本。
技术数据
宽度 - 15 毫米
高度 - 7 毫米
深度 - 15 毫米
最大载荷
力矩 (Mx) - 4 牛厘米
力矩 (My) - 4 牛厘米
力矩 (Mz) - 4 牛厘米
阻挡力 (Fx) - 3 N
轴承力 (Fy, Fz) - 20 N
制导精度
偏航角 - 20 弧秒
俯仰角 - 60 弧秒
垂直偏差 - 1 微米
横向偏差 - 2 微米
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