适用于高达 10^(-6) 毫巴的高真空条件
多种安装方式
我们的多面手
多轴组合,无需转接板
带压电惯性驱动的微型平移台。
技术数据
宽度 - 52 毫米
高度 - 12.5 毫米
深度 - 30 毫米
最大载荷
力矩 (Mx) - 5 牛厘米
力矩 (My) - 5 牛厘米
力矩 (Mz) - 5 牛厘米
阻挡力 (Fx) - 4.5 N
轴承力 (Fy, Fz) - 30 N
制导精度
偏航角 - 170 弧秒
俯仰角 - 170 弧秒
垂直偏差 - 3 微米
横向偏差 - 3 微米
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