线性位移台 DS30

压电小型适用真空

适用于高达 10^(-9) 毫巴的高真空条件 特别平整的外壳（10 毫米高） 带压电惯性驱动的微型平移台。DS 30 的超高真空版本。 技术数据 宽度 - 30 毫米 高度 - 10 毫米 深度 - 30 毫米 最大载荷 力矩 (Mx) - 5 牛顿/厘米 力矩 (My) - 5 牛厘米 力矩 (Mz) - 5 牛厘米 阻挡力 (Fx) - 4.5 N 轴承力 (Fy, Fz) - 30 N 制导精度 偏航角 - 20 弧秒 俯仰角 - 60 弧秒 垂直偏差 - 1 微米 横向偏差 - 2 微米