适用于高达 10^(-6) 毫巴的高真空条件
18 mm 行程,占地面积 30 x 40 mm
我们的全能型多轴组合,无需转接板
微型平移平台,带压电惯性驱动。
技术数据
宽度 - 40 毫米
高度 - 12.5 毫米
深度 - 30 毫米
速度 - 1.2 毫米/秒
最大负载
力矩 (Mx) - 5 牛顿/厘米
力矩 (My) - 5 牛厘米
力矩 (Mz) - 5 牛厘米
阻挡力 (Fx) - 4.5 N
轴承力 (Fy, Fz) - 30 N
制导精度
偏航角 - 150 弧秒
俯仰角 - 120 弧秒
垂直偏差 - 2 微米
横向偏差 - 2 微米
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