XY轴位移台 ML17XYZ轴立式压电
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产品规格型号
- 方向定位
- XY 轴, XYZ轴, 立式
- 类型
- 压电
- 轴数量
- 3轴
- 其他特性
- 小型, 适用真空
- 运行行程
5 mm
(0.197 in)- 速度
1 mm/s
- 载荷
25 g
(0.88 oz)
产品介绍
- 适用于高达 4K 的超低温条件
- 适用于高达 10^(-9) mbar 的高真空条件
超低温微型平移平台，采用压电惯性驱动。ML 17 的超高真空版本。
技术数据
宽度 - 17 毫米
高度 - 8 毫米
深度 - 32 毫米
最大载荷
力矩 (Mx) - 3 牛厘米
力矩 (My) - 3 牛厘米
力矩 (Mz) - 3 牛厘米
阻挡力 (Fx) - 1 N
轴承力 (Fy, Fz) - 1 N
制导精度
偏航角 - 20 弧秒
俯仰角 - 60 弧秒
垂直偏差 - 2 微米
横向偏差 - 1 微米
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