XY轴位移台 ML17
XYZ轴压电3轴

XY轴位移台
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产品规格型号

方向定位
XY 轴, XYZ轴
类型
压电
轴数量
3轴
其他特性
小型, 适用真空
运行行程

5 mm
(0.197 in)

速度

1 mm/s

产品介绍

-5 毫米行程,占地面积 17 x 32 毫米 -适用于高达 4K 的超低温度 -适用于高达 10^ (-9) mbar 的高真空条件下,采 用压电电惯性驱动实现超低温的微型平移台。 特高压版的 ML 17.

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