线性位移台 DS30
压电单轴精准

线性位移台 - DS30 - mechOnics ag - 压电 / 单轴 / 精准
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产品规格型号

方向定位
线性
类型
压电
轴数量
单轴
其他特性
精准, 小型, 适用真空
运行行程

8 mm
(0.315 in)

速度

1.2 mm/s

载荷

32 g
(1.13 oz)

产品介绍

适用于高达 10^(-6) 毫巴的高真空条件 特别扁平的外壳(10 毫米高) 带压电惯性驱动的微型平移台。DS 30 的真空版本。 技术数据 宽度 - 30 毫米 高度 - 10 毫米 深度 - 30 毫米 最大载荷 力矩 (Mx) - 5 牛顿/厘米 力矩 (My) - 5 牛厘米 力矩 (Mz) - 5 牛厘米 阻挡力 (Fx) - 4.5 N 轴承力 (Fy, Fz) - 30 N 制导精度 偏航角 - 20 弧秒 俯仰角 - 60 弧秒 垂直偏差 - 1 微米 横向偏差 - 2 微米

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