XY轴位移台 MS15
平动压电双轴

XY轴位移台 - MS15 - mechOnics ag - 平动 / 压电 / 双轴
XY轴位移台 - MS15 - mechOnics ag - 平动 / 压电 / 双轴
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产品规格型号

方向定位
XY 轴, 平动
类型
压电
轴数量
双轴
其他特性
紧凑型, 适用真空, 小型
运行行程

10 mm
(0.394 in)

速度

1.5 mm/s

载荷

20 g
(0.71 oz)

产品介绍

结构紧凑,适用于超高压应用 不带转接板的 xy 组合 带压电惯性驱动的超小型微型平移台,用于超高压应用。 技术数据 宽度 - 22 毫米 高度 - 7 毫米 深度 - 15 毫米 最大载荷 力矩 (Mx) - 4.5 牛厘米 力矩 (My) - 1.5 牛厘米 力矩 (Mz) - 3.2 牛厘米 阻挡力 (Fx) - 3 N 轴承力 (Fy, Fz) - 20 N 制导精度 偏航角 - 20 弧秒 俯仰角 - 60 弧秒 垂直偏差 - 1 微米 横向偏差 - 2 微米

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