平动位移台 NDS70压电闭合回路
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产品规格型号
- 方向定位
- 平动
- 类型
- 压电
- 其他特性
- 闭合回路
- 运行行程
15 mm
(0.591 in)- 速度
1 mm/s
- 载荷
120 g
(4.23 oz)
产品介绍
用于闭环（分辨率高达 50 nm）
用于 NOVA 系统
用于 NOVA 系统的带压电惯性驱动的微型平移台。标准版
技术数据
宽度 - 70 毫米
高度 - 20 毫米
深度 - 70 毫米
速度 - 1 毫米/秒
最大载荷
力矩 (Mx) - 5 牛顿/厘米
力矩 (My) - 5 牛厘米
力矩 (Mz) - 5 牛厘米
阻挡力 (Fx) - 9 N
轴承力 (Fy, Fz) - 30 N
制导精度
偏航角 - 20 弧秒
俯仰角 - 60 弧秒
垂直偏差 - 1 微米
横向偏差 - 2 微米
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