线性位移台 Q-545 Q‑Motion® series压电单轴精准
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产品规格型号
- 方向定位
- 线性
- 轴数量
- 单轴
- 其他特性
- 精准, 紧凑型, 适用真空, 小型, 用于显微镜
- 运行行程
13 mm, 26 mm
(0.512 in, 1.024 in)- 速度
8 mm/s
- 重复精度
100 nm, 200 nm
产品介绍
- 宽度仅为 45 毫米
- 驱动力 7 N
- 位置分辨率为纳米的增量式传感器
- 可进行 XY 组合，无需转接板
压电惯性驱动
压电惯性驱动装置是一种节省空间、经济实惠的压电驱动装置，具有相对较高的保持力和几乎无限的行程范围。惯性驱动原理基于单个压电致动器，该致动器由专用驱动电子装置提供的改良锯齿电压控制。致动器缓慢膨胀并移动转轮。由于其惯性，转轮无法跟随致动器随后的快速收缩而保持在原位。驱动装置的工作频率高达 20 kHz，直接作用于转轮，速度最高可达 8 mm/s。8 mm/s。
直接测量原理
直线运动平台配有非接触式直线光栅尺和基准开关。分辨率为 1 nm。
应用领域
微组装。光子学光学对准显微镜光束线仪器半导体技术测试
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