线性位移台 Q-545 Q-Motion® series
压电单轴精准

线性位移台
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产品规格型号

方向定位
线性
轴数量
单轴
其他特性
精准, 紧凑型, 适用真空, 小型, 用于显微镜
运行行程

13 mm, 26 mm
(0.512 in, 1.024 in)

速度

8 mm/s

重复精度

100 nm, 200 nm

产品介绍

- 宽度只有45毫米 - 驱动力7 N - 具有纳米级位置分辨率的增量式传感器 - XY组合 压电式惯性驱动是一种节省空间、经济实惠的基于压电的驱动装置,具有相对高的保持力和几乎无限的行程范围。惯性驱动的原理是基于一个单一的压电致动器,该致动器由特殊的驱动电子装置提供的修正锯齿电压控制。执行器缓慢地膨胀并移动转轮。由于其惯性,转轮无法跟随推杆的后续快速收缩而保持在其位置。由于工作频率高达20 kHz,驱动装置直接作用于转轮,实现了最大的速度。6毫米/秒。 应用范围 微组装。光子学。光学对准。显微镜。光束线仪器。半导体技术。测试. 直接测量原理 线性平台配备了一个非接触式测量光学线性编码器和一个参考开关。分辨率为1纳米。

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