旋转位移台 Q-632 Q‑Motion® 压电紧凑型适用真空
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产品规格型号
- 方向定位
- 旋转
- 类型
- 压电
- 其他特性
- 紧凑型, 适用真空, 非磁性
- 运行行程
32 mm
(1.26 in)
产品介绍
- 宽度仅 32 毫米，高度仅 8 毫米
- 使用增量式编码器进行直接位置测量，分辨率为 0.75 µrad
- 最小增量运动可达 3 µrad
- 旋转范围 >360
- 速度 45 °/s
产品描述
压电惯性驱动装置是一种节省空间、经济实惠的压电驱动装置，具有相对较高的保持力和几乎无限的行程范围。惯性驱动原理基于单个压电致动器，该致动器由专用驱动电子装置提供的改良锯齿电压控制。致动器缓慢膨胀并移动转轮。由于其惯性，转轮无法跟随致动器随后的快速收缩而保持在其位置上。直接作用在转轮上的驱动装置可实现最大 45 °/s 的速度，工作频率最高可达 1.5 kHz。45 °/s，工作频率高达 20 kHz。
应用领域
微组装。光子学光学对准显微镜光束线仪器半导体技术测试
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