XY轴位移台 M-11 seriesXYZ轴电动紧凑型
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产品规格型号
- 方向定位
- XY 轴, XYZ轴
- 类型
- 电动
- 其他特性
- 紧凑型, 闭合回路, 适用真空
- 运行行程
5 mm, 15 mm, 25 mm
(0.197 in, 0.591 in, 0.984 in)- 速度
1 mm/s, 1.5 mm/s
- 重复精度
0.25 µm, 2 µm
产品介绍
适用真空度高达 10-6 hPa
采用折叠式驱动，结构非常紧凑
闭环直流电机
非接触式基准和限位开关
可直接安装 XY 装置
紧凑型线性平台，用途广泛
折叠式带驱动直线运动平台，结构紧凑。透明孔径为 10 mm Ø，可直接安装 XY 装置，无需转接板。
减少排气，尤其适合在真空环境中使用
最值得注意的是，导轨和主轴的润滑采用了放气极少的材料。有了这种材料以及 PI V6 真空等级的其他改进，该定位器可在 10-6hPa 下使用。
驱动装置
闭环直流减速电机
间隙补偿螺纹主轴
位置测量
电机轴上的旋转编码器
非接触式霍尔效应基准和限位开关
应用领域
真空室。研究光束线仪器显微镜电子组装和检测
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