线性位移台 CLS-3252

压电闭合回路适用真空

CLS-32 系列中型平台的行程范围为 31 毫米，而占地面积仅为 32 x 52 毫米。它能够处理高达 30 N 的有效载荷。 CLS 系列直线运动平台一直是为科学和工业领域的高可用性应用而设计的。它们配备了可更换的 SmarActs 驱动单元，可确保轻松接触平台的核心部件--压电驱动器。这使得维修工作变得非常简单。更换驱动单元时，无需将整个设备从周围的定位装置上拆下。此外，它们的安装孔型与我们的旋转平台和角度计的安装完全匹配。 机械性能 阻挡力 [N] ≥ 3.5 最大法向力 [N法向力 [N] 30 最大提升力提升力 [N] > 1.5 尺寸 [mm] 32 x 52 x 11 重量 [g] - 54 开环 开环分辨率 [nm] - < 1 开环分辨率 (H)CU [nm] - < 50 闭环 传感器分辨率 MCS2 [nm] - 1 (S)，4 (L) 传感器分辨率 (H)CU [nm] - 50 (L) 单向重复性 MCS2 [nm] - ± 40 (S,L) 单向重复性 (H)CU [nm] - ± 200 (L) 材料选项 材料选项 - 铝基座为标准；钛基座 (-TI) 性能选项 - 更高的阻挡力 (-D)：+1.5 N 真空选项 - HV（1E-6 毫巴）；UHV / UHVT（1E-11 毫巴） 无磁选项 - 是