线性位移台 CLS-92152

压电铝制适用真空

较大的 CLS-92 线性平台占地面积为 152 x 92 毫米，行程范围为 103 毫米。此外，它还能处理高达 20 N 的有效载荷。 CLS 系列直线运动平台专为科学和工业领域的高可用性应用而设计。它们配备了 SmarActs 可更换驱动单元，确保可以方便地接触到平台的核心部件--压电驱动装置，从而使维修工作变得简单易行。更换驱动单元时，无需将整个设备从周围的定位装置上拆下。当模块化和易于配置是最高要求时，它们就是完美的选择。 机械性能 阻挡力 [N] ≥ 3.5 最大法向力 [N] 20法向力 [N] 20 尺寸 [mm] 92 x 152 x 17 重量 [g] - 591 开环 开环分辨率 MCS2 [nm] - < 1 开环分辨率 (H)CU [nm] - < 50 闭环 传感器分辨率 MCS2 [nm] - 1 (S)，4 (L) 传感器分辨率 (H)CU [nm] - 100 (L) 单向重复性 MCS2 [nm] - ± 40 (S,L) 单向重复性 (H)CU [nm] - ± 200 (L) 材料选项 材料选项 - 铝基座为标准；钛基座 (-TI) 性能选项 - 更高的阻挡力 (-D)：+1.5 N 真空选项 - HV（1E-6 毫巴）；UHV（1E-11 毫巴） 无磁选项 - 是