线性位移台 CLS-92152
压电闭合回路适用真空

线性位移台
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产品规格型号

方向定位
线性
其他特性
铝制, 适用真空, 闭合回路, 工业, 开环
运行行程

103 mm
(4.055 in)

速度

20 mm/s

重复精度

40 nm, 200 nm

产品介绍

较大的CLS-92线性平台的占地面积为92 x 152 mm,移动范围为103 mm。此外,它能够处理高达20N的有效载荷。 CLS系列的线性平台是专门为科学和工业领域的高可用性应用而设计的。它们配备了SmarActs可更换的驱动单元,这保证了容易接触到平台的核心部件,即压电驱动,使维修成为一项简单的任务。驱动单元可以被替换,而不需要将整个设备从周围的定位装置上拆下来。当模块化和易于配置是最高要求时,它们是完美的选择。 机械 阻塞力 [N] ≥ 3.5 最大。正常力 [N] 20 尺寸[mm] 92 x 152 x 17 重量[g] - 591 开环 分辨率[纳米] - < 1

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