线性位移台 PLF3232-xy.60

XY 轴压电双轴

SMARFLEX 纳米定位扫描平台利用压电驱动机械挠性规的优势，实现了高达 100 μm 的高精度定位任务。 PLF3232-xy.60 在 X 和 Y 方向的扫描范围为 60 μm。它的重量仅为 45 克，体积仅为 32 x 32 x 20 毫米，非常轻巧。它将两台 PLF3232-x.60 扫描仪合二为一，结构高度较低，但性能相同。 由于其尺寸和孔型，它非常适合与其他线性平台和定位器（如 CLS-3232）配合使用，从而将大行程和高精度结合在一起。 规格 扫描范围 [µm] - > 60 最大法向力 [N] - 5法向力 [N] - 5 尺寸 [mm] - 32 x 32 x 20 重量 [g] - 45 材料 底座材料 - 钛（-TI）/铝底座（-Al） 开环 开环分辨率 MCS2 [nm] - MCS2: <1 闭环 传感器分辨率 MCS2 [nm] - MCS2: 1 (S) 选项 真空选项 - HV (10-⁶mbar) 无磁选项 - 是 (- NM)