线性纳米定位平台 PLF3232-x.60

压电单轴紧凑型

SMARFLEX 纳米定位扫描平台利用压电驱动机械挠性规的优势，实现了高达 100 μm 的高精度定位任务。 PLF3232-x.60 的 X 方向扫描范围为 60 μm。其重量仅为 30 克，体积仅为 32 x 32 x 12 毫米，非常轻巧。 规格 扫描范围 [µm] - > 60 最大法向力 [N] - 5.0法向力 [N] - 5.0 尺寸 [mm] - 32 x 32 x 12 重量 [g] - 30 材料 底座材料 - 钛（-TI）/铝底座（-Al） 开环 开环分辨率 MCS2 [nm] - MCS2: <1 闭环 传感器分辨率 MCS2 [nm] - MCS2: 1 (S) 选项 真空选项 - HV (10-⁶ mbar) 无磁选项 - 是 (- NM)