线性纳米定位平台 PLF5252-x.200

压电单轴紧凑型

SMARFLEX 纳米定位扫描平台利用压电驱动机械挠性规的优势，实现了高达 100 μm 的高精度定位任务。 PLF5252-x.200 在 X 方向的扫描范围超过 200 μm。其重量仅为 90 克，体积仅为 52 x 52 x 15 毫米，非常轻巧。 规格 扫描范围 [µm] - > 200 最大扫描力 [N] - 5.0法向力 [N] - 5.0 尺寸 [mm] - 52 x 52 x 15 重量 [g] - 90 材料 底座材料 - 钛（-TI）/铝底座（-Al） - 开环 开环分辨率 MCS2 [nm] - MCS2: <1 - 闭环 传感器分辨率 MCS2 [nm] - MCS2: 1 (S) - 选项 真空选项 - HV (10-⁶mbar) 无磁选项 - 是 (- NM)