SMARSHIFT MLL-400 是一种电磁直接驱动 XY 平台,有两种行程选择。第一个选项提供高达 300 毫米的大行程范围。第二种行程范围缩小至 200 毫米,以提高精度。两个版本均可安装在带有 25 mm × 25 mm 栅格的标准光学面包板上。
MLL-400 可用作电磁 TRIPOD 的底座。
应用
MLL-400 专为工业制造中的高要求任务而设计,包括微组装、拾取和贴装过程以及工件对准。其他应用领域包括高精度增材制造、晶片定位和激光加工。
规格
持续力 [N] - 6
峰值力 [N] - 18
最大法向力 [N] - 200法向力 [N] - 200
移动质量 [g] - 12000(下轴);6000(上轴)
尺寸 [mm] - 400 × 400 × 70
重量 [g] - 21000
材料
底座材料 - 铝,黑色阳极氧化处理
闭环
传感器类型 - SC
最大加速度(空载)[m/s²] - 1(下轴);2.5(上轴)
位置稳定性 [nm] - ±5
传感器分辨率 MCS2 [nm] - 1
单向重复性 MCS2 [nm] - 150 | 100
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