长冲程位移台 CLL42

线性压电单轴

CLL42 具有安装有效载荷的大平台、长行程范围以及可更换的驱动装置。 CLL42 配备了 SmarActs 可更换式驱动单元，确保可以方便地接触到平台的核心部件--压电驱动装置。这使得维修工作变得非常简单。它还提供高真空版本。标准型号的行程分别为 99、179、259、379、499 和 619 毫米。 机械性能 阻挡力 [N] - ≥ 5 最大法向力 [N] - 30法向力 [N] - 30 最大提升力 [N] - 1.5提升力 [N] - 1.5 尺寸 [mm] - 60 x 16（开环滑块） 重量 [g] - 与长度有关 开环 开环分辨率 MCS2 [nm] - < 1 开环分辨率 (H)CU [nm] - 50 闭环 传感器分辨率 MCS2 [nm] - 1 (S)，4 (L) 单向重复性 MCS2 [nm] - ± 100 (S) 材料选项 材料选项 - 多个支架；沉孔；螺纹孔 (M4) 机械选项 - 多个支架；对孔；螺纹孔 (M4) 真空选项 - HV（1E-6 毫巴）；UHV（1E-11 毫巴）